[发明专利]一种晶圆卸载和压紧装置

权利要求书

1.一种晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

包括：驱动机构，推板(8)，连接杆(7)，压环(3)和顶针(12)，所述驱动机构包括气缸(6)及其上行气路(10)和下行气路(9)，压环(3)通过连接杆(7)与推板(8)连接，顶针(12)与推板(8)相连，气缸(6)推动推板(8)带动压环(3)和顶针(12)上下运动。

2.根据权利要求1所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

所述气缸(6)为两个。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

所述气缸(6)的上行和下行由第一换向阀(13)控制，所述气缸(6)与所述上行气路(10)间设置了第一调速阀(16)，所述气缸(6)与下行气路(9)间设置了第二调速阀(17)、第三单向阀(18)、调压阀(15)以及第二换向阀(14)，所述第二换向阀(14)与所述第三单向阀(18)和调压阀(15)并联设置，其中，所述第一调速阀(16)包括第一单向阀(161)和第一可调溢流阀(162)，所述第二调速阀(17)包括第二单向阀(171)和第二可调溢流阀(172)。

4.根据权利要求3所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

当需装载晶圆(11)时，所述气缸(6)需上行到达指定位置，所述第一换向阀(13)处于右位，所述上行气路(10)接通，所述第二换向阀(14)处于左位直通状态，所述第一调速阀(16)中的第一单向阀(161)开启，所述第二调速阀(17)中的第二单向阀(171)闭合，第二可调溢流阀(172)起作用，所述第三单向阀(18)闭合，所述气缸(6)带动所述压环(3)和所述顶针(12)上行到达指定位置。

5.根据权利要求3所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

装载晶圆后，切换所述第一换向阀(13)至左位，所述下行气路(9)接通，所述第二换向阀(14)处于右位断开状态，此时所述第三单向阀(18)开启，所述调压阀(15)起作用，所述第二调速阀(17)中的第二单向阀(171)开启，所述第一调速阀(16)中第一单向阀(161)关闭，所述第一可调溢流阀(162)起到限速作用，所述气缸(6)带动所述压环(3)、所述顶针(12)和所述晶圆(11)下行，所述晶圆(11)到达指定位置后，所述顶针(12)与所述晶圆(11)分离，所述压环(3)继续缓慢下降，直到所述压环(3)压紧所述晶圆(11)。

6.根据权利要求3所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

卸载所述晶圆(11)时，切换所述第一换向阀(13)至右位，所述上行气路(10)接通，所述第二换向阀(14)位于左位直通状态，所述气缸(6)上行，所述第一调速阀(16)中的第一单向阀(161)开启，所述第二调速阀(17)中的第二单向阀(171)闭合，第二可调溢流阀(172)起作用，所述第三单向阀(18)闭合，所述气缸(6)带动所述压环(3)和所述顶针(12)上行到达指定位置。

7.根据权利要求3所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

当压环在无晶圆的情况下下行时，切换所述第一换向阀(13)至左位，所述下行气路(9)接通，所述第二换向阀(14)处于左位直通状态，从而使所述下行气路(9)绕过所述调压阀(15)，所述压环(3)可以较快下降到指定位置。

8.根据权利要求1所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

所述连接杆(7)为三根，且均匀分布。

9.根据权利要求1所述的晶圆卸载和压紧装置，其特征在于，

所述顶针(12)为三根，且均匀分布。