[发明专利]一种双面标记激光曝光设备

权利要求书

1.一种双面标记激光曝光设备，其特征在于，该曝光设备包含：

用于放置样品的样品台；

激光光源；

对准激光光源的掩膜版，该掩膜版上具有对准标记；

分光镜，通过掩膜版具有对准标记形状的激光经该分光镜分为相互垂直第一激光束、第二激光束；

设置在样品正面正上方的第一聚焦透镜；

设置在样品背面正下方的第二聚焦透镜；及

若干用于改变光路路径分别构建第一光路、第二光路的反射镜；

其中，第一激光束经第一光路垂直入射至第一聚焦透镜，再经第一聚焦透镜汇聚透射至样品正面；第二激光束经第二光路垂直入射至第二聚焦透镜，再经第二聚焦透镜汇聚透射至样品背面；所述透射至样品正面的第一激光束与透射至样品背面的第二激光束同轴。

2.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，构建第一光路的反射镜包含：与分光镜平行相对设置的第一反射镜，第一激光束自分光镜平行入射至第一反射镜作为其入射光束，再垂直于该入射光束反射至第一聚焦透镜，作为第一反射镜的反射光束，经第一聚焦透镜透射至样品正面，形成第一光路。

3.如权利要求2所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，第一反射镜的反射光束与样品正面垂直。

4.如权利要求2所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，构建第二光路的反射镜包含：设置在分光镜的正下方的第二反射镜，及，设置在样品背面的正下方的第三反射镜；该第二反射镜、第三反射镜相对平行设置；第二激光束入射至第二反射镜，第二反射镜的反射光束与第二激光束垂直，并作为第三反射镜的入射光束，第三反射镜的反射光束与其入射光束垂直，并垂直入射至样品背面的第二聚焦透镜，经第二聚焦透镜透射至样品背面，形成第二光路。

5.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，第三反射镜的反射光束与样品背面垂直。

6.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，所述的第一激光束直接入射至样品正面的第一聚焦透镜，经第一聚焦透镜透射至样品正面，形成第一光路，其中，第一激光束与样品正面垂直。

7.如权利要求6所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，构建第二光路的反射镜包含：第一反射镜、第二反射镜及第三反射镜；其中，第一反射镜与分光镜平行相对设置；第二激光束作为第一反射镜的入射光束，第一反射镜的反射光束与第二激光束垂直，并作为第二反射镜的入射光束，第二反射镜的反射光束与其入射光束垂直，并作为第三反射镜的入射光束，第三反射镜的反射光束垂直入射至样品背面的第二聚焦透镜，经第二聚焦透镜透射至样品背面，形成第二光路。

8.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，该曝光设备还包含：设置在激光光源与掩膜版之间的扩束装置。

9.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，该第二聚焦透镜与第一聚焦透镜以样品台镜像对称设置，并保持轴线重合，其中，第一聚焦透镜能通过滑动导轨上下做精密移动，以根据样品厚度调节第一聚焦透镜的焦点，第二聚焦透镜不可移动，焦点始终保持在样品台上表面。

10.如权利要求1所述的双面标记激光曝光设备，其特征在于，所述的样品台上设有曝光窗口，样品台底部设有导轨，样品台能在水平方向上沿导轨移动。