[发明专利]一种片式基材真空镀膜生产线的控制系统有效
| 申请号: | 201811441854.8 | 申请日: | 2018-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN109267032B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
| 发明(设计)人: | 潘振强;陈健鹏 | 申请(专利权)人: | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 曹爱红 |
| 地址: | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基材 真空镀膜 生产线 控制系统 | ||
本发明属于真空镀膜技术领域,具体是片式基材真空镀膜生产线的控制系统,包括上位机,以及与上位机以太网通讯连接的PLC主基板和与PLC主基板连接的PLC扩展基板,所述PLC扩展基板上连接有传动通讯系统、预抽真空系统、前传动系统、前镀膜系统和真空测量系统,所述PLC主基板上连接有故障报警系统、智能仪表通讯系统、主抽真空系统、主传动系统和主镀膜系统。该控制系统的验证效果良好,能够实现生产线操作简单、方便,减少操作人员,提供数据统计而降低管理成本,提高生产效率。
技术领域
本发明属于镀膜生产技术领域,特别涉及一种片式基材真空镀膜生产线的控制系统。
背景技术
现有技术中,工业生产线的智能化、自动化程度日益加大,除了要满足基本的工艺要求外,还需要考虑生产线的经济成本、管理成本等多方面因素,具体表现为生产效率高、操作方便、智能化大数据统计、人力资源依赖少等。
现有卧式磁控溅射镀膜的生产生产线多为单体机,控制系统多为分部式的框架,即每一功能存在一个控制系统,存在以下待改善的问题:
(1)系统框架复杂:大部分使用多个低端的PLC控制,在程序编写过程中,会存在多个PLC地址分布不清晰的问题;
(2)操作繁琐、不人性化:系统较为分散,每一功能的操作基本需要一个操作人员,总操作人员数量多;
(3)智能化程度不高:系统没有数据统计,不方便生产线管理人员对机台和操作人员的数据管理;
(4)电柜布线杂乱,维修程度大:由于生产线框架复杂,导致电柜接线繁琐,不美观,同时也不方便维修人员检修;
(5)各生产工序独立,多个连接的地方存在控制误差,生产效益低下。
因此,研发一种能提高并解决以上问题的片式基材真空镀膜生产线的控制系统迫在眉睫。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足,具体公开一种片式基材真空镀膜生产线的控制系统,该控制系统的验证效果良好,能够实现生产线操作简单、方便,减少操作人员,提供数据统计而降低管理成本,提高生产效率。
为了达到上述技术目的,本发明是按以下技术方案实现的:
本发明所述的一种片式基材真空镀膜生产线的控制系统,包括上位机,以及与上位机以太网通讯连接的PLC主基板和与PLC主基板连接的PLC扩展基板,所述PLC扩展基板上连接有传动通讯系统、预抽真空系统、前传动系统、前镀膜系统和真空测量系统,所述PLC主基板上连接有故障报警系统、智能仪表通讯系统、主抽真空系统、主传动系统和主镀膜系统。
作为上述技术的进一步改进,所述控制系统的编程程序包含有手动模式,或自动模式,或维护模式,或清仓模式,或建立真空模式。
作为上述技术的更进一步改进,所述控制系统上设有时长的统计与监控子系统。
作为上述技术的更进一步改进,所述控制系统上设有生产线工艺参数设置与查看子系统。
作为上述技术的更进一步改进,所述控制系统上设有生产线操作记录和故障记录的随时查看与追溯子系统。
本发明所述的控制系统是配合片式基材真空镀膜生产线使用的,该片式基材真空镀膜生产线,其沿着基片前进的方向依次包括上料台、进片室、加热室、前缓冲室、至少两个相互独立的磁控溅射真空镀膜室、后缓冲室、冷却室及下料台,还包括用于传输基片的传输机构。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
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