[发明专利]一种有机电致发光器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811416263.5 申请日: 2018-11-26
公开(公告)号: CN109659439B 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 顾宇 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种有机电致发光器件,包括基板和其上设置的复合阳极结构;其中所述复合阳极结构包括下金属氧化物层、金属银层和上金属氧化物层;其特征在于,其中所述金属银层表面因所述上金属氧化物层的缺陷而未被其遮蔽位置处的金属银为氧化银,所述氧化银通过对所述复合阳极结构进行氧化而形成。

2.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件,其特征在于,其中所述上金属氧化物层中的金属氧化物为铟锡氧化物。

3.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件,其特征在于,其中所述上金属氧化物层中的金属氧化物为铟锌氧化物。

4.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件,其特征在于,其中所述下金属氧化物层中的金属氧化物为铟锡氧化物。

5.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件,其特征在于,其中所述下金属氧化物层中的金属氧化物为铟锌氧化物。

6.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件,其特征在于,其中所述上金属氧化物层中的金属氧化物与所述下金属氧化物层中的金属氧化物一致。

7.一种用于制备根据权利要求1所述的有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

阳极制备步骤,其为提供一基板,并于所述基板上形成由下金属氧化物层、金属银层和上金属氧化物层构成的复合阳极结构和其上设置的PR保护层,剥离所述PR保护层;

氧化步骤,其为对所述基板进行氧化处理,进而使得因所述上金属氧化物层缺陷而暴露于外的金属银层表面的金属银形成氧化银。

8.根据权利要求7所述的一种有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,其中所述氧化步骤为将所述基板放入紫外臭氧处理设备中,使用紫外灯照射所述基板,通过紫外光照射氧气生成臭氧使得暴露于所述上金属氧化物层外的金属银氧化形成氧化银。

9.根据权利要求7所述的一种有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,其中所述氧化步骤为将所述基板放入氧等离子体处理设备中,在氧等离子体处理所述基板表面时会产生大量的臭氧,通过所述臭氧使得暴露于所述上金属氧化物层外的金属银氧化形成氧化银。

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