[发明专利]一种含铝和硼元素的高熵合金靶材及其制备工艺

说明书

本发明公开了一种含铝和硼元素的高熵合金靶材的制备工艺，由以下步骤组成：以铝粉和第一金属粉为配料，在氩气保护下采用机械合金化法，制备得到铝合金粉；将铝合金粉与含硼的第二粉末混合，采用球磨法进行研磨；将研磨后的含铝和硼的合金粉末放置于石墨磨具中，在真空中采用放电等离子烧结法对合金粉末进行烧结；烧结后对石墨磨具冷却脱模得到含铝和硼的合金靶材；该工艺可以准确地控制B元素含量，且各元素成分及含量在较大的范围内便于调控；可以避免硼元素在加工过程中大量挥发；可以避免因铝元素的加入导致烧结温度过低引起靶材结合性差；所得到的合金靶材成型性好，相对密度较高，孔隙率相对较低，晶粒尺寸小，各成分分布均匀。

【技术领域】

本发明属于磁控溅射靶材领域，尤其涉及一种含铝和硼元素的高熵合金靶材及其制备工艺。

【背景技术】

随着工业的不断进步，高硬度合金的应用和干切削的发展，人们对刀具的切削性能和使用寿命要求越来越高。真空溅镀技术为解决该方面问题提供了帮助。该技术通过将硬度高、韧性好和耐磨的硬质材料镀于刀具表面来提高刀具的使用性能。刀具溅镀薄膜靶材和溅镀工艺参数的设定对降低刀具磨耗、延长寿命起着决定性作用。

高熵合金是近年来发展起来的一种新型金属材料，它是由多种组元混合而成的单相固溶体，该合金的高强度，高硬度，耐磨等优异性能与其四大效应密切相关。磁控溅射法制备的高熵合金氮化物薄膜呈现简单的固溶体结构，由于具有严重的晶格畸变和固溶强化导致其具有高硬度及较好的高温力学性能，因此将高熵合金氮化物采用真空溅射技术可以将其沉积到基材上，制备得到高硬度的薄膜板；多种元素的鸡尾酒效应提供了较好的耐腐蚀性能，高温抗氧化性能。

高熵合金靶材通常情况下通过熔炼法将纯度较高的金属制备成各元素分布均匀的合金，再将其切割成所需形状的靶材。立方结构的氮化硼，其晶体结构类似金刚石，硬度略低于金刚石，为HV72000～98000兆帕，常用作磨料和刀具材料。通过熔炼法制备高熵合金靶材，其中硼元素会发生大量挥发，使其含量难以控制，并且难以将大量硼元素熔入其中。故要将硼元素加入至靶材中可通过烧结法来制备。若要将铝元素同时掺入靶材中，由于铝元素的熔点较低仅660℃，烧结温度一般要低于粉末熔点，但若烧结温度太低会使靶材的结合性较差，从而影响溅射薄膜的性能。B易挥发所以用烧结的办法，铝熔点低，烧结的温度不能高于铝的熔点。

【发明内容】

本发明的目的是提供一种含铝和硼元素的高熵合金靶材及其制备工艺，以解决现有制造中无法将铝和硼相互结合加入靶材的问题。

本发明采用以下技术方案：一种含铝和硼元素的高熵合金靶材的制备工艺，由以下步骤组成：

以铝粉和第一金属粉为配料，在氩气保护下采用机械合金化法，制备得到铝合金粉；

将铝合金粉与含硼的第二粉末混合，采用球磨法进行研磨；

将研磨后的含铝和硼的合金粉末放置于石墨磨具中，在真空中采用放电等离子烧结法对合金粉末进行烧结；

烧结后对石墨磨具冷却脱模得到含铝和硼的合金靶材；

第一金属粉为Fe、Nb、Ti、和Ni元素的一种或多种；

含硼的第二粉末为B和Cr，Co，Zr，Cu，Zn，W，Ta，V和Si中的一种或多种，第一金属粉的选择与第二粉末的选择不重叠。

进一步地，机械合金化法中高能球磨时间为50h，采用氩气进行保护，转速为300r/min。

进一步地，球磨法中球料比为5:1，转速240r/min，混粉时长5h。

进一步地，合金靶材中的各元素均为等原子百分比且分布均匀。

进一步地，第一金属粉选用Al和Ti单质，第二粉末选用Cr，B单质，由以下步骤组成：