[发明专利]压力传感器、其制造方法和具有该压力传感器的显示装置

说明书

提供一种压力传感器、其制造方法和具有该压力传感器的显示装置。所述压力传感器包括：基体基底，包括浮凸图案；第一导电层，设置在基体基底上；压敏材料层，设置在第一导电层上，以使压敏材料层的电特性与施加于压敏材料层的应变对应地变化，压敏材料层包括电介质和分散在电介质中的纳米颗粒；以及第二导电层，设置在压敏材料层上，其中，电介质和纳米颗粒包括具有极性彼此相反的热电性的材料。

本申请要求于2017年11月20日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0155067号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用包含于此。

技术领域

本公开的一方面涉及一种压力传感器、一种该压力传感器的制造方法以及一种具有该压力传感器的显示装置。

背景技术

压力传感器是用于将诸如负载、重量和压力的力学量转换成电信号的传感器，并且用于诸如车辆、飞行器、工业过程、办公自动化、家用电器、医疗护理和环境控制的各种领域。

这种压力传感器可以包括借助于物理力产生电信号的材料。由于包括在压力传感器中的材料对应变和温度都具有敏感性，因此可能难以在温度和应变同时变化的环境中检测压力值的准确信息。

发明内容

实施例提供了一种能够提高装置特性的压力传感器、一种压力传感器的制造方法以及一种具有该压力传感器的显示器。

根据本公开的一方面，提供一种压力传感器，该压力传感器包括：基体基底，包括浮凸图案；第一导电层，设置在基体基底上；压敏材料层，设置在第一导电层上，以使压敏材料层的电特性与施加于压敏材料层的应变对应地变化，压敏材料层包括电介质和分散在电介质中的纳米颗粒；以及第二导电层，设置在压敏材料层上，其中，电介质和纳米颗粒包括具有极性彼此相反的热电性的材料。

电介质可以包括具有正(+)热电性的铁电压电材料，纳米颗粒可以包括具有负(-)热电性的钛酸钡(BaTiO₃)纳米颗粒、钛酸锂(Li₄Ti₅O₁₂)纳米颗粒、锆钛酸铅(PZT)纳米颗粒、钛酸铅(PbTiO₃)纳米颗粒和Pb₅Ge₃O₁₁纳米颗粒中的一种。

在压敏材料层中，纳米颗粒具有大约30wt％至40wt％的浓度。

浮凸图案可以包括：多个突出部分，从基体基底的其上形成有第一导电层的表面突出，并且具有峰；以及谷，设置在相邻的突出部分之间。

压力传感器还可以包括设置在突出部分的峰处的多个虚设图案。

第一导电层可以具有对应于浮凸图案的弯曲的表面。

根据本公开的一方面，提供了一种制造压力传感器的方法，该方法包括：准备包括浮凸图案的基体基底；在基体基底上形成第一导电层，其中，第一导电层具有对应于浮凸图案的弯曲的表面；将包括第一导电层的基体基底固定到全方向拉伸装置，然后通过在所有方向上对基体基底施加张力来使第一导电层的弯曲的表面平坦化，以形成平坦化表面；在具有平坦化表面的第一导电层上形成压敏材料层，其中，压敏材料层包括电介质和分散在电介质中的纳米颗粒；以及在压敏材料层上形成第二导电层，其中，电介质和纳米颗粒包括具有极性彼此相反的热电性的材料。

根据本公开的一方面，提供了一种显示装置，该显示装置包括：显示面板，构造为显示图像；以及压力传感器，设置在显示面板的一个表面上，压力传感器感测施加到显示面板的触摸的压力，其中，压力传感器包括：基体基底，包括浮凸图案；第一导电层，设置在基体基底上；压敏材料层，设置在第一导电层上，以使压敏材料层的电特性与施加于压敏材料层的应变对应地变化，压敏材料层包括电介质和分散在电介质中的纳米颗粒；以及第二导电层，设置在压敏材料层上，其中，电介质和纳米颗粒包括具有极性彼此相反的热电性的材料。

附图说明