[发明专利]有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法

说明书

本发明公开一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。本发明的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：沉积物质供应部；容器部，存储从沉积物质供应部供应的沉积物质；气化部，在内部设置有使沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于容器部，借助直线往复运动而将容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与气化部分离布置，且借助连接管而与气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。

技术领域

本发明涉及一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。

背景技术

通常，显示装置可以用于智能电话、膝上型计算机、数码相机、便携式摄像机、便携式信息终端、笔记本电脑、平板个人电脑等的移动设备或者手表(watch)、台式计算机、电视机、室外广告牌、展示用显示装置、汽车用仪表板、平视显示器(HUD；Head Up Display)等的电子装置。

最近，上市了更加纤薄化的显示装置。

柔性显示装置(flexible display device)易于携带，且可以应用于多种形状的装置。其中，基于有机发光显示技术的显示装置是最具影响力的柔性显示装置。

在配备于显示装置的基板上可以形成有多个薄膜层。薄膜层可以通过多种方法形成。例如，薄膜层可以通过向沉积物质施加预定的热的热蒸发(thermal evaporation)法而形成。但是，当沉积物质在长期暴露于气化或升华温度以上时，可能导致沉积物质变性。因此，在实现高速的成膜工序时存在限制。

发明内容

本发明的实施例的目的在于提供一种有机物沉积装置和利用此的有机物沉积方法。

根据本发明的一方面的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：至少一个沉积物质供应部；容器部，存储从所述沉积物质供应部供应的至少一个沉积物质；气化部，在内部设置有使所述沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于所述容器部，借助直线往复运动而将所述容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与所述气化部分离布置，且借助连接管而与所述气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。

一实施例中，在所述气化部可以布置有使所述容器部进入的投入口，在所述移送部结合有密封板，所述密封板可以在移送所述容器部时位于所述投入口而将气化部的内部封闭。

一实施例中，在所述气化部、连接管、喷嘴部的内部或外部可以布置有第二加热器，以防止气化的沉积物质沉积在所述气化部、连接管、喷嘴部的内部，施加到所述第一加热器的温度可以与施加到第二加热器的温度相同或高于施加到第二加热器的温度。

一实施例中，在所述连接管可以设置有开关阀，所述开关阀连接于感测沉积在所述基板上的沉积物质的量的传感器，从而根据沉积量开闭所述连接管的通道，并且，设置有旁通管，所述旁通管与所述连接管连通，并具有开闭旁通管的通道的旁通阀，以将残留于所述连接管的通道的沉积物质排出到外部。

一实施例中，在所述腔室的外部还可以设置有向所述沉积物质供应部供应沉积物质的外部供应装置，在所述外部供应装置配备有存储所述沉积物质的存储容器，在所述沉积物质供应部与存储容器之间设置有闸阀，所述闸阀将向沉积物质供应部供应所述沉积物质的通道开闭。

根据本发明的另一方面的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：多个沉积物质供应部；多个容器部，存储从所述沉积物质供应部供应的多个沉积物质；气化部，在内部设置有使所述沉积物质气化的第一加热器；移送部，安装有所述容器部，并借助于旋转及升降运动而使多个所述容器部中的任意一个容器部被移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与所述气化部分离布置，且借助连接管而与所述气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。

一实施例中，所述移送部可以包括转台，在所述移送部的下部设置有使所述移送部旋转及升降的驱动部，所述多个容器部沿着所述移送部的圆周方向而相隔布置，所述多个沉积物质供应部分别位于多个容器部上，所述气化部位于所述容器部中的某一个容器部上。