[发明专利]一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置在审

专利信息
申请号: 201811350848.1 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN109283806A 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 肖宪书;马小飞 申请(专利权)人: 蚌埠高华电子股份有限公司
主分类号: G03F7/38 分类号: G03F7/38;G02F1/13
代理公司: 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 代理人: 黄景燕
地址: 233000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 光刻胶 加热环板 加热装置 坚膜 伸缩动力装置 调控装置 伸缩连杆 支撑横板 受热 烘焙 温度传感探头 温度传感装置 板上固定 玻璃基板 光刻胶层 传送带 固定边 输出轴 抽离 抽气 管头 加热 传输 释放 监测 加工
【说明书】:

发明公开了一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置,涉及LCD显示技术领域。本发明中:第一固定边板上固定在设有第二伸缩动力装置;第二伸缩动力装置的输出轴上设有第二伸缩连杆;第二伸缩连杆的端侧固定连接有第二支撑横板;第二支撑横板上装设有若干均匀分布的加热装置和若干温度传感装置。本发明通过传送带板将ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置下方;通过在加热装置上设置的加热环板,能够有效提升光刻胶接收的热量,并通过靠近加热环板的温度传感探头对加热环板附近的温度进行监测,便于光刻胶加热受热控制,同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体,通过抽气管头抽离出去,从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。

技术领域

本发明涉及LCD显示技术领域,尤其涉及一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置。

背景技术

LCD的构造是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶盒,下基板玻璃上设置TFT/薄膜晶体管,上基板玻璃上设置彩色滤光片,通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向,从而达到控制每个像素点偏振光出射与否而达到显示目的。

LCD显示器在生产加工过程中,由于显影时光刻胶膜发生软化、膨胀,影响胶膜的抗蚀能力,因此显影后必须用适当的温度烘焙光刻胶玻璃以除水分,从而增强胶膜与玻璃的粘附性,这一过程称之为坚膜;而光刻胶的烘焙温度以及光刻胶玻璃板的烘焙承载方式,影响着光刻胶坚膜的加工操作效率;如何高效的完成光刻胶坚膜的加工操作,成为需要解决的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置,从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。

为解决上述技术问题,本发明是通过以下技术方案实现的:

本发明提供一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置,包括第一固定边板,第一固定边板的两端侧都固定连接有第二固定边板;第二固定边板上固定装设有第一伸缩动力装置;第一伸缩动力装置的输出轴上设有第一伸缩连杆;第一伸缩连杆的端侧固定连接有第一阻隔连板;第二固定边板上固定装设有边侧定位框架;第一伸缩连杆、第一阻隔连板活动穿过边侧定位框架;包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板。

第一固定边板上固定在设有第二伸缩动力装置;第二伸缩动力装置的输出轴上设有第二伸缩连杆;第二伸缩连杆的端侧固定连接有第二支撑横板;第二支撑横板上装设有若干均匀分布的加热装置和若干温度传感装置。

第一固定边板上固定装设有一对抽气动力装置;第二固定边板上固定装设有第三伸缩动力装置;第三伸缩动力装置的输出轴上设有第三伸缩连杆;第三伸缩连杆的端侧固定装设有抽气管头;抽气管头与抽气动力装置之间通过抽气软连管相连通。

作为本发明的一种优选技术方案,第一阻隔连板上设有橡胶材质的第一隔离垫板。

作为本发明的一种优选技术方案,传输带板上开设有与第一阻隔连板相配合的第一密封槽;第一密封槽内设有硅胶材质的第一密封垫板;传输带板上开设有第一放置槽。

作为本发明的一种优选技术方案,加热装置和温度传感装置在第二支撑横板上交错分布;加热装置上设有靠近ITO光刻胶的加热环板;温度传感装置上设有靠近加热环板的温度传感探头。

作为本发明的一种优选技术方案,抽气管头上开设有倾斜靠近ITO光刻胶板的抽气开口。

与现有的技术相比,本发明的有益效果是:

本发明通过传送带板将ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置下方,通过第一伸缩动力装置驱动调节第一阻隔连板与传输带板的第一密封槽进行位置配合;通过在加热装置上设置的加热环板,能够有效提升光刻胶接收的热量,并通过靠近加热环板的温度传感探头对加热环板附近的温度进行监测,便于光刻胶加热受热控制,同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体,通过抽气管头抽离出去,从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。

附图说明

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