[发明专利]一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置在审
| 申请号： | 201811350848.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109283806A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 肖宪书;马小飞 | 申请（专利权）人： | 蚌埠高华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G02F1/13 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 黄景燕 |
| 地址： | 233000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻胶 加热环板 加热装置 坚膜 伸缩动力装置 调控装置 伸缩连杆 支撑横板 受热 烘焙 温度传感探头 温度传感装置 板上固定 玻璃基板 光刻胶层 传送带 固定边 输出轴 抽离 抽气 管头 加热 传输 释放 监测 加工 | ||
1.一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
包括第一固定边板（1），所述第一固定边板（1）的两端侧都固定连接有第二固定边板（2）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有第一伸缩动力装置（3）；
所述第一伸缩动力装置（3）的输出轴上设有第一伸缩连杆（4）；
所述第一伸缩连杆（4）的端侧固定连接有第一阻隔连板（6）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有边侧定位框架（5）；
所述第一伸缩连杆（4）、第一阻隔连板（6）活动穿过边侧定位框架（5）；
包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板（7）；
所述第一固定边板（1）上固定在设有第二伸缩动力装置（8）；
所述第二伸缩动力装置（8）的输出轴上设有第二伸缩连杆（9）；
所述第二伸缩连杆（9）的端侧固定连接有第二支撑横板（10）；
所述第二支撑横板（10）上装设有若干均匀分布的加热装置（11）和若干温度传感装置（12）；
所述第一固定边板（1）上固定装设有一对抽气动力装置（15）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有第三伸缩动力装置（13）；
所述第三伸缩动力装置（13）的输出轴上设有第三伸缩连杆（14）；
所述第三伸缩连杆（14）的端侧固定装设有抽气管头（21）；
所述抽气管头（21）与抽气动力装置（15）之间通过抽气软连管（16）相连通。
2.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述第一阻隔连板（6）上设有橡胶材质的第一隔离垫板（601）。
3.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述传输带板（7）上开设有与第一阻隔连板（6）相配合的第一密封槽（701）；
所述第一密封槽（701）内设有硅胶材质的第一密封垫板（702）；
所述传输带板（7）上开设有第一放置槽（703）。
4.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述加热装置（11）和温度传感装置（12）在第二支撑横板（10）上交错分布；
所述加热装置（11）上设有靠近ITO光刻胶的加热环板（23）；
所述温度传感装置（12）上设有靠近加热环板（23）的温度传感探头（22）。
5.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述抽气管头（21）上开设有倾斜靠近ITO光刻胶板的抽气开口。
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