[发明专利]用于校正基板变形的方法和设备

说明书

本文提供用于校正基板变形的方法和设备的实施方式。在一些实施方式中，一种基板支撑件包括：基部，具有由从所述基部向上延伸的壁形成的内部容积；多个红外灯，设置在所述内部容积内；支撑板，设置在所述多个红外灯上方，其中所述支撑板包括支撑表面以支撑基板；和覆盖板，设置在所述支撑板的顶上并具有对应于所述支撑表面的中心开口和位于所述覆盖板的顶表面的周边的排气部分，其中所述排气部分包括多个穿孔，所述多个穿孔将所述覆盖板上方的空间与形成在所述覆盖板中的排气导管流体地耦接。在本文中另外提供一种结合本发明的基板支撑件和喷头组件的喷头组件和处理设备的实施方式。

技术领域

本公开的实施方式总体涉及校正基板变形。

背景技术

环氧树脂模塑化合物用于将管芯封装在基板封装中。这些化合物在热工艺之后因不均匀的加热和冷却而弓起和翘曲，从而导致当前工艺设备中不均匀的膨胀/收缩速率。常规的热工艺利用经由辐射、对流或传导热工艺的定向传热。方向性造成各向异性的膨胀和收缩速率。当接近热塑性状态操作时，不均匀的冷却以及后续的收缩速率产生翘曲基板。经常地观察到这种翘曲和弓起效应，并且其暗示了基板在接近基板的热塑性状态下被加工，从而导致翘曲超过可接受的水平。

因此，发明人提供用于校正基板变形的方法和设备的实施方式。

发明内容

本文提供用于校正基板变形的方法和设备。在一些实施方式中，一种基板支撑件包括：基部，具有由从所述基部向上延伸的壁形成的内部容积，其中所述壁设置在所述基部的周边内；多个红外灯，设置在所述内部容积内；支撑板，设置在所述多个红外灯上方，其中所述支撑板包括支撑表面以支撑基板；和覆盖板，设置在所述支撑板的顶上并具有对应于所述支撑表面的中心开口和位于所述覆盖板的顶表面的周边的排气部分，其中所述排气部分包括多个穿孔，所述多个穿孔将所述覆盖板上方的空间与形成在所述覆盖板上中的排气导管流体地耦接。

在一些实施方式中，一种喷头组件包括：上部板，具有气体入口和由从所述上部板向下延伸的壁形成的内部容积，其中所述壁设置在所述上部板的周边内；多个红外灯，设置在所述内部容积内；保持板，设置在所述多个红外灯的下方以将所述多个红外灯支撑在所述内部容积内；阻挡板，具有多个孔隙并设置在所述保持板的下方，其中所述阻挡板包括凹陷部段，所述凹陷部段与所述保持板一起形成气室，并且其中所述多个孔隙设置在所述凹陷部段中；气体导管，从所述气体入口延伸并穿过所述保持板以将气体供应到所述气室；和覆盖板，设置在所述阻挡板的下方并具有对应于所述凹陷部段的中心开口，其中所述覆盖板耦接到所述上部板的所述壁的顶部以将所述保持板和所述阻挡板耦接到所述上部板。

在一些实施方式中，一种处理腔室包括：腔室主体，具有处理容积；基板支撑件，设置在所述处理容积的下部部分中；和喷头组件，与所述基板支撑件相对地设置在所述处理容积的上部部分中。所述基板支撑件包括：基部，具有由从所述基部向上延伸的第一壁形成的第一内部容积，其中所述第一壁设置在所述基部的周边内；第一多个红外灯，设置在所述第一内部容积内；支撑板，设置在所述第一多个红外灯上方，其中所述支撑板包括支撑表面以支撑基板；和第一覆盖板，设置在所述支撑板的顶上并具有对应于所述支撑表面的第一中心开口和位于所述第一覆盖板的顶表面的周边的排气部分，其中所述排气部分包括多个穿孔，所述多个穿孔将所述处理容积与形成在所述第一覆盖板中的排气导管流体地耦接。所述喷头组件包括：上部板，具有气体入口和由从所述上部板向下延伸的第二壁形成的第二内部容积，其中所述第二壁设置在所述上部板的周边内；第二多个红外灯，设置在所述第二内部容积内；保持板，设置在所述第二多个红外灯的下方以将所述第二多个红外灯支撑在所述第二内部容积内；阻挡板，具有多个孔隙并设置在所述保持板的下方，其中所述阻挡板包括凹陷部段，所述凹陷部段与所述保持板一起形成气室，并且其中所述多个孔隙设置在所述凹陷部段中；气体导管，从所述气体入口延伸并穿过所述保持板以将气体供应到所述气室；和第二覆盖板，设置在所述阻挡板的下方并具有对应于所述凹陷部段的第二中心开口，其中所述第二覆盖板耦接到所述上部板的所述第二壁的顶部以将所述保持板和所述阻挡板耦接到所述上部板。

以下描述本公开的其它和进一步实施方式。