[发明专利]冷却装置及废气处理系统

说明书

本发明提供的冷却装置和废气处理系统，包括冷却腔体、冷却结构和清除结构，其中，冷却腔体中设置有通道，用以通入待冷却气体，冷却结构包括至少一个冷却板，冷却板设置在通道中，且将通道分割为多个子通道，清除结构设置在子通道中，用于清除在冷却过程中凝结在子通道内壁上的冷凝物。通过设置清除结构，避免冷凝物的在子通道中累积，从而延长冷却装置的使用寿命，提高废气处理效果。

技术领域

本发明属于废气处理领域，具体涉及一种冷却装置及废气处理系统。

背景技术

GaAs薄膜太阳能电池需要通过MOCVD方式生产制造，太阳能电池片的晶体生长源的材料包含AsH₃和PH₃等。MOCVD设备在工艺过程中，产生的尾气含有大量未参加反应的AsH₃、PH₃以及含砷化合物，因而需要对尾气中的AsH₃、PH₃以及含砷化合物进行废气处理。

作为一种常见的废气处理方法，先通过高温热分解的方式使废气中的AsH₃和PH₃分解，分别分解为As和H₂、P和H₂，然后对生成物冷却降温，使气体中的As和P等粉尘冷凝，以清理废气中的有毒物质。

图1为现有技术中一种常见的冷却装置的结构示意图。如图1所示，冷却装置包括冷却腔体100和设置在冷却腔体外周壁上的冷却水道200，通过向冷却水道中通入冷却介质，以对流经冷却腔体的流体进行冷却，使热分解后的冷凝物凝结在冷却腔体的内壁上。

但是，上述冷却装置存在如下问题：随着使用时长的累积，凝结在冷却腔体的内壁上的冷凝物逐渐增多，冷凝物的增加阻碍了冷却水道对通道中的流体的冷却效果，导致通过冷却装置的气体中的有毒物质不能被充分冷凝，导致有毒物质随气体流出冷却装置，影响废气处理效果。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种能够清除冷凝物，进而提高废气处理效果的冷却装置及废气处理系统。

为解决上述问题，本发明提供了一种冷却装置，其包括：

冷却腔体，所述冷却腔体中设置有通道，用以通入待冷却气体；

冷却结构，所述冷却结构包括至少一个冷却板，所述冷却板设置在所述通道中，且将所述通道分割为多个子通道；

清除结构，设置在所述子通道中，用于清除在冷却过程中凝结在所述子通道的内壁上的冷凝物。

其中，所述清除结构包括：

清除件，设置在所述子通道中；

驱动源，用于驱动所述清除件移动，并在移动过程中刮除所述冷凝物。

其中，所述驱动源为旋转驱动源，所述清除结构还包括旋转轴，所述旋转驱动源通过所述旋转轴连接所述清除件；或者，

所述驱动源为直线驱动源，用于驱动所述清除件在所述通道中往复移动。

其中，所述通道的侧壁为平面，所述清除件在平行于所述通道的侧壁的平面内旋转。

其中，所述冷却板中设置有第一冷却水路，通过向所述第一冷却水路中通入冷却水，以对流经所述通道的待冷却气体进行冷却；

其中，所述清除件的数量为多个，并且，每个所述子通道中设置一个所述清除件。

其中，所述清除件上设置有供所述待冷却气体穿过的气体避让孔。

其中，在所述冷却腔体中设置第二冷却水路，通过向所述第二冷却水路中通入冷却水，以对流经所述通道的待冷却气体进行冷却。