[发明专利]用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法有效
| 申请号： | 201811344277.0 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109778114B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 冈宏树;松浦幸代;初田千秋;池永知加雄;冈本英介;牛草昌人 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王博;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 蒸镀掩模 金属板 方法 以及 | ||
1.一种金属板的制造方法，其为用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法，其中，
所述金属板具有位于所述金属板的表面的两个以上的凹坑，
所述制造方法具备下述检查工序：基于位于所述表面的一部分的两个以上的所述凹坑的容积的总和，判定所述金属板的优劣，
所述检查工序具有下述工序：
计算工序，将两个以上的所述凹坑之中在所述金属板的厚度方向上距离所述表面为修正距离以上的部分的容积的总和除以所述表面的所述一部分的面积，由此计算出凹坑修正容积密度；和
判定工序，在所述凹坑修正容积密度为第一阈值以下的情况下，判定所述金属板良好。
2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，所述判定工序在所述凹坑修正容积密度为第二阈值以上第一阈值以下的情况下判定所述金属板良好。
3.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，所述检查工序具备下述工序：
计算工序，将两个以上的所述凹坑之中在所述金属板的厚度方向上距离所述表面为修正距离以上的部分的容积的总和除以所述表面的所述一部分的面积，由此计算出凹坑修正容积密度；和
筛选工序，筛选出所述凹坑修正容积密度为第一阈值以下的所述金属板。
4.如权利要求3所述的金属板的制造方法，其中，所述筛选工序筛选出所述凹坑修正容积密度为第二阈值以上第一阈值以下的所述金属板。
5.如权利要求1～4中任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述修正距离为0.2μm。
6.如权利要求1～4中任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述第一阈值为15000μm3/mm2。
7.如权利要求2或4所述的金属板的制造方法，其中，所述第二阈值为10μm3/mm2。
8.如权利要求1～4中任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述计算工序包括下述测定工序：在所述表面的所述一部分的各位置测定所述凹坑的深度。
9.如权利要求8所述的金属板的制造方法，其中，所述测定工序利用激光显微镜测定所述凹坑的深度。
10.如权利要求1～4中任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述表面的所述一部分的面积为0.1mm2以上。
11.一种金属板，其为用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，
所述金属板具有位于所述金属板的表面的两个以上的凹坑，
将位于所述表面的一部分的两个以上的所述凹坑之中在所述金属板的厚度方向上距离所述表面为0.2μm以上的部分的容积的总和称为凹坑修正容积的情况下，将所述凹坑修正容积除以所述表面的所述一部分的面积而计算出的凹坑修正容积密度为15000μm3/mm2以下，
所述凹坑修正容积基于在所述表面的所述一部分的各位置利用激光显微镜测定所述凹坑的深度所得到的结果而算出，
所述表面的所述一部分的面积为0.1mm2以上。
12.如权利要求11所述的金属板，其中，所述凹坑修正容积密度为10μm3/mm2以上。
13.如权利要求11或12所述的金属板，其中，所述金属板由含镍的铁合金构成。
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