[发明专利]扬声器以及其微机电致动器

权利要求书

1.一种微机电致动器，其特征在于，包含：

一平板形组件包含一力耦合件与一第一封闭悬臂环，所述第一封闭悬臂环环绕于所述力耦合件周围且以多个第一桥接件连接彼此，其中所述第一封闭悬臂环具有不连续的多个第一压电材料区，其中所述多个第一压电材料区经施加电压后朝向所述平板形组件的法线方向弯折。

2.根据权利要求1所述的微机电致动器，其特征在于，所述第一封闭悬臂环为一圆形封闭悬臂环。

3.根据权利要求1所述的微机电致动器，其特征在于，所述平板形组件还包含多个外桥接件连接至一外支撑件。

4.根据权利要求3所述的微机电致动器，其特征在于，所述外支撑件包含一电极结构经所述多个外桥接件电连接至所述多个第一压电材料区。

5.根据权利要求1所述的微机电致动器，其特征在于，所述第一封闭悬臂环还具有不连续的多个第二压电材料区，其中所述多个第一压电材料区与所述多个第二压电材料区彼此电性连接。

6.根据权利要求1所述的微机电致动器，其特征在于，所述第一封闭悬臂环以多个第二桥接件连接至一第二封闭悬臂环。

7.根据权利要求6所述的微机电致动器，其特征在于，所述第二封闭悬臂环具有不连续的多个第二压电材料区，所述多个第一、二压电材料区的位置彼此错开。

8.根据权利要求7所述的微机电致动器，其特征在于，所述多个第一压电材料区与所述多个第二压电材料区彼此电性连接且材料不同。

9.根据权利要求7所述的微机电致动器，其特征在于，所述多个第一压电材料区与所述多个第二压电材料区彼此电性连接且施加不同极性方向的电压。

10.根据权利要求6所述的微机电致动器，其特征在于，所述第二封闭悬臂环具有不连续的多个第二压电材料区，紧邻每一所述第二桥接件的所述第一、二压电材料区经施加电压后朝向相反方向弯折。

11.根据权利要求10所述的微机电致动器，其特征在于，紧邻每一所述第二桥接件的所述第一、二压电材料区经施加电压后朝向所述平板形组件法线的二个相反方向弯折。

12.根据权利要求10所述的微机电致动器，其特征在于，紧邻每一所述第一桥接件的所述第一压电材料区与紧邻每一所述第二桥接件的所述第一压电材料区经施加电压后朝向相反方向弯折。

13.根据权利要求6所述的微机电致动器，其特征在于，所述多个第一桥接件与所述多个第二桥接件彼此错位配置。

14.根据权利要求6所述的微机电致动器，其特征在于，所述多个第一桥接件彼此等间距配置，或所述多个第二桥接件彼此等间距配置。

15.一种扬声器，其特征在于，包含：

一振动膜；以及

一微机电致动组件包含一力耦合件与至少一个第一封闭悬臂环，所述第一封闭悬臂环环绕于所述力耦合件周围且以多个第一桥接件连接彼此，且所述力耦合件连接至所述振动膜，其中所述微机电致动组件经施加电压使所述力耦合件致动所述振动膜产生轴向振动。