[发明专利]一种双台面直写式曝光机及其曝光方法

说明书

本发明提供了一种双台面直写式曝光机，提升了设备利用率,减少了设备各系统的工作的空闲时间,从而有效提升了曝光机的产能，包括底座和通过龙门机构顺序设置在底座上的对位机构、曝光机构，在底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，步进轴运动组件能够带动Z轴运动组件前后移动经过对位机构、曝光机构，Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，基板承载台面上设有吸盘，基板承载台面一上一下设置成两层，Z轴运动组件能够带动基板承载台面上下移动使得曝光焦面对准，此外，本发明还提供了一种双台面直写式曝光机的曝光方法。

技术领域

本发明涉及激光直写式曝光机技术领域，具体为一种双台面直写式曝光机及其曝光方法。

背景技术

激光直写式曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度高。在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。

目前市场上直写曝光多以单台面曝光机为主。现有的单台面曝光机的产能较低，生产周期长，每一片基板的曝光需要完成上板，对准，曝光，下板等工序，整个流程时间较长。而曝光产能又是客户需求的一项重要指标，提高直写曝光机的产能非常有必要。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种双台面直写式曝光机，提升了设备利用率,减少了设备各系统的工作的空闲时间,从而有效提升了曝光机的产能，此外，本发明还提供了一种双台面直写式曝光机的曝光方法。

其技术方案的是这样的：一种双台面直写式曝光机，包括底座和通过龙门机构顺序设置在所述底座上的对位机构、曝光机构，其特征在于：在所述底座上设置有两个相互平行设置的步进轴运动组件，所述步进轴运动组件上分别安装有Z轴运动组件，所述步进轴运动组件能够带动所述Z轴运动组件前后移动经过所述对位机构、曝光机构，所述Z轴运动组件分别与基板承载台面固定连接，所述基板承载台面上设有吸盘，所述基板承载台面一上一下设置成两层，所述Z轴运动组件能够带动所述基板承载台面上下移动使得曝光焦面对准。

进一步的，所述对位机构包括安装在第一龙门机构上的对位轴运动组件，所述对位轴运动组件包括运动电机和直线导轨，运动电机上设置有对位系统，所述运动电机能够带动对位系统沿所述直线导轨运动。

进一步的，所述曝光机构包括安装在所述龙门机构上的扫描轴运动组件，所述扫描轴运动组件上安装有曝光系统，所述扫描轴运动组件能够带动所述曝光系统运动。

进一步的，所述曝光机构包括安装在第一龙门机构上的第一扫描轴运动组件和安装在所述第二龙门机构上的第二扫描轴运动组件，所述第一扫描轴运动组件平行于所述第二扫描轴运动组件设置，所述第一扫描轴运动组件与所述第二扫描轴运动组件之间设置有横梁，所述第一扫描轴运动组件和所述第二扫描轴运动组件能够同步带动横梁运动，所述曝光系统顺序排布在所述横梁上。

进一步的，所述曝光系统等距安装在所述横梁上。

进一步的，所述龙门机构包括分别设置在所述底座两侧的龙门立柱，所述龙门立柱的上端设置有安装龙门。

进一步的，所述步进轴运动组件、Z轴运动组件、对位轴运动组件、第一扫描轴运动组件、第二扫描轴运动组件分别与运动控制系统电控连接。

进一步的，所述曝光系统包括曝光镜头，所述对位系统包括CCD相机、对准镜头和照明光源。

进一步的，所述基板承载台面通过螺钉固定在所述Z轴运动组件的Z轴悬臂上。

一种上述的双台面直写式曝光机的曝光方法，其特征在于：设定在基板承载台面对基板进行上下板的时间为T1，对位机构进行对位的时间为T2，曝光机构的曝光时间为T3，并满足如下公式：T1+T2＝T3，使得在其中一个所述基板承载台面上的基板进行上下料后且通过对位机构先后进行对位时，另一个所述基板承载台面能够通过曝光机构完成对基板的曝光。