[发明专利]探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统

说明书

本发明提供了一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统，属于半导体测试技术领域，包括第一齿轮轴和与第一齿轮轴垂直的第二齿轮轴，第一齿轮轴一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合。本发明提供的探针台刚性传动装置，借助锥齿轮传递动力和改变方向，具有可靠性高，运行稳定，成本低的特点。

技术领域

本发明属于半导体测试技术领域，更具体地说，是涉及一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统。

背景技术

Cascade Microtech公司源自EricStrid和ReedGleason，在1983年开发第一个微波晶圆探针时合作。在1983年以前，对于某款特定设计之所以奏效的原因，高速IC的设计人员只能够进行推测。当时无法在晶圆级上对这些微波电路的实际电气性能进行测量。通过运用Cascade Microtech革新性的晶圆上探测解决方案，在IC被切割和封装之前，设计工程师们就可以在晶圆级上进行电路的实际测试及特性分析。这实现了研发时间的减半，并降低了开发新型芯片的巨额成本。自此之后，Cascade Microtech的晶圆上探测技术便成为了一项业界标准。Cascade Microtech探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速期间的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。显微镜系统是探针台设备上的重要组成部分，其正常稳定的运行对设备能够持续可靠的使用具有重要意义。

显微镜系统是探针台中的重要部分，其弹性联轴器负责调节旋钮动力的传递作用，如果其失效，显微镜系统就会失效，导致设备无法正常使用。

目前Cascade Microtech探针台的显微镜调节系统均采用弹性可弯曲联轴器来实现异向同平面旋转运动的动力传递，其联轴器经过了特殊结构设计，采用具有较强弹性、韧性的金属材料制作。这样设计结构简单，把多项功能集成到了一个元件上，但在有这个优点的同时，也带来了相应的缺点，主要是可靠性低，该弹性联轴器在经过长时间弯曲，且在工作时频繁异向90°弯曲，会导致该联轴器疲劳损伤，易发生疲劳断裂，从而导致设备故障，无法使用，在设备使用情况相近时，采用此种设计方法，由于弹性联轴器的特性，该故障具有集中爆发的特性，一旦一台出现，往往其他设备也会在短时间内出现此种故障，而且Cascade Microtech探针台所采用的弹性联轴器为美国进口原件，售价达到一万元人民币以上，购买周期长达6-8周，不仅会造成经济损失，还会导致无备用设备可用，严重影响生产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针台刚性传动装置，代替原有弹性联轴器，以解决现有技术中存在的不可靠、故障率高的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种探针台刚性传动装置，包括：

第一齿轮轴，一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；

第二齿轮轴，与所述第一齿轮轴垂直，一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；

所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。

进一步地，所述第一齿轮轴和所述第二齿轮轴均为黄铜制件，所述第一联轴器和所述第二联轴器均为不锈钢制件。

进一步地，所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮的齿顶圆直径的取值范围均为8-13mm。

进一步地，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的长度取值范围均为15-20mm。

进一步地，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的直径取值范围均为3-5mm。

进一步地，所述第一联轴器和所述第二联轴器的直径取值范围均为10-20mm。

进一步地，所述第一联轴器和所述第二联轴器的长度取值范围均为8-15mm。