[发明专利]探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统在审
| 申请号： | 201811301244.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109142798A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张文朋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 赵宝琴 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 齿轮轴 探针台 锥齿轮 装配 刚性传动 调节系统 显微镜 啮合 半导体测试 第一联轴器 传递动力 改变方向 运行稳定 垂直的 联轴器 | ||
1.探针台刚性传动装置，其特征在于，包括：
第一齿轮轴，一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；
第二齿轮轴，与所述第一齿轮轴垂直，一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；
所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。
2.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴和所述第二齿轮轴均为黄铜制件，所述第一联轴器和所述第二联轴器均为不锈钢制件。
3.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮的齿顶圆直径的取值范围均为8-13mm。
4.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的长度取值范围均为15-20mm。
5.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的直径取值范围均为3-5mm。
6.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一联轴器和所述第二联轴器的直径取值范围均为10-20mm。
7.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一联轴器和所述第二联轴器的长度取值范围均为8-15mm。
8.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一联轴器设有两个用于与所述第一齿轮轴配合的第一中心孔和用于锁定所述第一齿轮轴的第一锁紧螺钉，所述第一联轴器设有径向与所述第一中心孔连通的第一螺纹孔；
所述第二联轴器设有两个用于与所述第二齿轮轴配合的第二中心孔和用于锁定所述第二齿轮轴的第二锁紧螺钉，所述第二联轴器设有两个径向与所述第二中心孔连通的第二螺纹孔。
9.如权利要求1-8任一项所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，还包括扭矩传感器和用于装配所述扭矩传感器的动力输入轴，借助所述第一联轴器或所述第二联轴器，所述动力输入轴的一端与所述第一齿轮轴或所述第二齿轮轴传动连接，所述动力输入轴的另一端设有手轮。
10.探针台显微镜调节系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的刚性传动装置，所述第一联轴器与动力机构相连，所述第二联轴器连接显微镜调节装置。
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