[发明专利]X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法

说明书

本发明提供一种能够判定X射线检测器的恰当的更换时期的X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法。本发明中，X射线管(1)朝试样(S)照射X射线。检测器(3)检测照射到试样(S)之后的X射线。检测器高压电路(4)对检测器(3)施加电压。数据获取部(81)根据来自检测器(3)的检测信号来获取具有试样(S)固有的波峰的波高分布曲线的数据。更换时期判定部(82)根据通过测定标准试样而由数据获取部(81)获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰来判定检测器(3)的更换时期。

技术领域

本发明涉及一种具备朝试样照射X射线的X射线光源、检测照射到试样之后的X射线的X射线检测器、以及对所述X射线检测器施加电压的电压施加部的X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法。

背景技术

波长色散型荧光X射线装置等X射线分析装置中配备有朝试样照射X射线的X射线光源以及检测照射到试样之后的X射线的X射线检测器。作为X射线光源，例如使用X射线管。此外，作为X射线检测器，例如使用比例计数管或闪烁计数器。

X射线管具备丝极及靶材，对丝极与靶材之间施加高压。由此，从丝极朝靶材放出热电子，通过该热电子撞击至靶材而产生X射线。丝极、靶材是有寿命的，因此，若X射线管达到更换时期，则要更换为新的X射线管(例如参考下述专利文献1)。

同样地，比例计数管、闪烁计数器等X射线检测器也会随着使用而劣化，因此要定期更换。例如比例计数管是在所封入的氩气中设置有由钨丝构成的芯线的构成，随着氩气的劣化、芯线的脏污等，需要进行更换。此外，闪烁计数器具备闪烁器及光电倍增管，随着这些零件的劣化，需要进行更换。

以往，X射线光源、X射线检测器的更换时期是以它们的使用时间为基准。即，采用如下构成：对使用时间进行累计、记录，若该使用时间超过一定时间，则判定为更换时期。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开平5-283192号公报

发明内容

【发明要解决的问题】

然而，在根据使用时间来判定X射线检测器的更换时期的情况下，有时无法判定恰当的更换时期。例如，在不是X射线检测器自身的劣化而是对X射线检测器施加电压的电路侧发生了劣化的情况下等，即便X射线检测器未到更换时期，有时也会被判定为更换时期。如此，在无法判定X射线检测器的恰当的更换时期的情况下，有对无须更换的X射线检测器进行更换或者在更换之前X射线检测器发生故障的担忧。

本发明是鉴于上述实情而成，其目的在于提供一种能够判定X射线检测器的恰当的更换时期的X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法。

【解决问题的技术手段】

(1)本发明的X射线分析装置具备X射线光源、X射线检测器、电压施加部、数据获取部及更换时期判定部。所述X射线光源朝试样照射X射线。所述X射线检测器检测照射到试样之后的X射线。所述电压施加部对所述X射线检测器施加电压。所述数据获取部根据来自所述X射线检测器的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据。所述更换时期判定部根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰来判定所述X射线检测器的更换时期。

根据这种构成，可以利用如下内容来判定X射线检测器的更换时期：在对X射线检测器施加有一定电压的情况下测定标准试样，由此获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰会随着X射线检测器的劣化而发生变化。具体而言，对X射线检测器施加一定电压而测定同一标准试样时的波峰的位置会随着X射线检测器的劣化而朝低能量侧移动。通过利用这种特性，能够判定X射线检测器的恰当的更换时期。