[发明专利]X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法有效
申请号: | 201811238688.1 | 申请日: | 2018-10-23 |
公开(公告)号: | CN109951940B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 铃木桂次郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H05G1/28 | 分类号: | H05G1/28 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 分析 装置 以及 检测器 更换 时期 判定 方法 | ||
1.一种X射线分析装置,其特征在于,具备:
X射线光源,其朝试样照射X射线;
X射线检测器,其检测照射到试样之后的X射线;
电压施加部,其对所述X射线检测器施加电压;
数据获取部,其根据来自所述X射线检测器的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据;以及
更换时期判定部,其根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰,来判定所述X射线检测器的更换时期,
所述更换时期判定部根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的变化,来判定所述X射线检测器的更换时期。
2.根据权利要求1所述的X射线分析装置,其特征在于,
所述更换时期判定部将通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的变化量与阈值进行比较,由此判定所述X射线检测器的更换时期。
3.根据权利要求1所述的X射线分析装置,其特征在于,
还具备历史存储部,所述历史存储部存储通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的历史,
所述更换时期判定部根据所述历史存储部中存储的波峰的面积值的历史,来判定所述X射线检测器的更换时期。
4.一种X射线检测器的更换时期判定方法,所述X射线检测器是X射线分析装置中的X射线检测器,所述X射线分析装置具备朝试样照射X射线的X射线光源、检测照射到试样之后的X射线的X射线检测器以及对所述X射线检测器施加电压的电压施加部,该X射线检测器的更换时期判定方法的特征在于,包含:
数据获取步骤,根据来自所述X射线检测器的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据;以及
更换时期判定步骤,根据通过测定标准试样而在所述数据获取步骤中获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰,来判定所述X射线检测器的更换时期,
在所述更换时期判定步骤中,根据通过测定标准试样而在所述数据获取步骤获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的变化,来判定所述X射线检测器的更换时期。
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