[发明专利]薄膜太阳能电池预制板的制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池预制板的制备方法，其特征在于，包括：S10，提供金属基底(110)，所述金属基底(110)具有一生长表面(111)；S20，对所述生长表面(111)进行表面处理；S30，在所述生长表面(111)上生长石墨烯薄膜(120)，所述石墨烯薄膜(120)厚度为0.1μm～2μm，获得薄膜太阳能电池衬底(100)；S50，对所述薄膜太阳能电池衬底(100)做退火处理；S51，将所述薄膜太阳能 电池衬底(100)放置在加热炉内，所述加热炉内填充惰性气体；S52，升高所述加热炉内温度来加热所述薄膜太阳能电池衬底(100)，加热的速度为10℃/s～30℃/s，且加热到500℃～550℃；S53，保持所述薄膜太阳能电池衬底(100)的温度在500℃～550℃这个范围内15min～30min；S54，加热炉停止加热，炉内温度自然下降，所述薄膜太阳能电池衬底(100)随炉内温度冷却至300℃～360℃；S55，保持所述薄膜太阳能电池衬底(100)的温度在300℃～360℃这个范围内15min～30min；S56，降低炉内温度至室温，降温速度为2℃/s～15℃/s；S40，制备背电极层(130)，覆盖所述石墨烯薄膜(120)，获得薄膜太阳能电池预制板(200)；S60，对所述薄膜太阳能电池预制板(200)做退火处理；S61，将所述薄膜太阳能电池预制板(200)放置在加热炉内，所述加热炉内填充氩气；S62，升高所述加热炉内温度来加热所述薄膜太阳能电池预制板(200)，加热到340℃～380℃；S63，保持所述薄膜太阳能电池预制板(200)的温度在340℃～380℃这个范围内15min～30min；S64，降低加热炉内温度至室温。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池预制板的制备方法，其特征在于，所述金属基底(110)为不锈钢材料。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池预制板的制备方法，其特征在于，所述S20包括：S21，将所述金属基底(110)放置在高压喷淋装置内；S22，制备清洗液；S23，用所述清洗液高压喷淋所述金属基底(110)；S24，将所述金属基底(110)放入超声清洗装置中清洗；S25，吹干所述金属基底(110)。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池预制板的制备方法，其特征在于，在所述S20中，对所述金属基底(110)进行高温处理。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池预制板的制备方法，其特征在于，在所述S30中，采用磁溅射法制备所述背电极层(130)。