[发明专利]一种真空镀膜水冷机

说明书

本发明提供了一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置；所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有低温第一水箱、中温第二水箱和高温第三水箱；所述第一水箱为大水箱，容积等于所述第二水箱和所述第三水箱的容积之和；所述第一水箱内的温度传递到所述第三水箱使得其内的水冷却，所述第一水箱和所述第三水箱通过同一个出水口进出水。所述真空镀膜水冷机通过第一水箱和第三水箱的出水口连接结构和所述冷凝管温度传递，这种方式结构简单，组装维修方便，通过内循环来减少耗能，提高效率。

技术领域

本发明涉及冷水机技术领域，具体地，涉及一种真空镀膜水冷机。

背景技术

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。真空镀膜过程中需要进行多次不同水温的冷却，这种冷却速率将影响其薄膜质量。因此，如何实现一种设计合理，能有多个不同冷却温度，冷却速率高，冷却效果好，水可循环再用，节约用水，节能环保的真空镀膜水冷机是业内亟待解决的技术问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种真空镀膜水冷机，通过第一水箱和第三水箱的出水口连接结构和所述冷凝管温度传递，这种方式结构简单，组装维修方便，通过内循环来减少耗能，提高效率。

本发明的技术方案如下：

一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置；所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有低温第一水箱、中温第二水箱和高温第三水箱；所述第一水箱为低温，所述第二水箱为中温，所述第三水箱为高温；所述第一水箱为大水箱，容积等于所述第二水箱和所述第三水箱的容积之和；所述第一水箱内的温度传递到所述第三水箱使得其内的水冷却，所述第一水箱和所述第三水箱通过同一个出水口进出水。

较佳地，所述机身具有一机架，所述机架分为上、下两层，其正面分为左、中、右三份；所述第一水箱、所述第二水箱和所述第三水箱固定连接所述机架上层内；所述机架中间分上层内固设有一电箱，所述电箱下方固设有三个高压表和三个低压标，所述高压表和所述低压标两两并列设置；所述第一水箱侧面靠近底部设有第一排水口，所述第二水箱侧面靠近底部设有第二排水口，所述第三水箱侧面靠近底部设有第三排水口。

优选的，所述冷却装置包括第一压缩机、第二压缩机、第三压缩机、冷凝器、铜管、第一冷凝管、第二冷凝管、第三冷凝管和第四冷凝管；所述第一水箱内设有所述第一冷凝管和所述第二冷凝管，所述第二水箱内设有所述第三冷凝管，所述第三水箱内设有所述第四冷凝管，所述冷凝管都呈圆形螺旋上升形状；所述第一压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第一冷凝管的底部输入端；所述第二压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第二冷凝管底部输入端；所述第三压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第三冷凝管底部输入端。

优选的，所述冷却装置还包括小水泵和煤气软管；所述第一冷凝管顶部输出端通过所述煤气软管固定连接所述小水泵，所述小水泵的另一端通过所述煤气软管固定连接所述第四冷凝管底部输入端；所述第四冷凝管顶部输出端通过所述煤气软管固定连接所述第二冷凝管顶部输出端。