[发明专利]一种贴片式电感及其制作方法

权利要求书

1.一种贴片式电感，其特征在于，包括：

引脚层以及位于所述引脚层上间隔设置的绝缘层和金属层，位于各所述金属层中的图案化金属结构对应电连接形成多层平面螺旋状线圈结构；

所述多层平面螺旋状线圈结构的两个端部分别与位于所述引脚层的对应引脚结构电连接。

2.根据权利要求1所述的贴片式电感，其特征在于，沿所述多层平面螺旋状线圈结构的轴向，所述多层平面螺旋状线圈结构包括多个单层平面螺旋状线圈结构，相邻两个所述单层平面螺旋线圈结构之间的介电结构的厚度大于所述单层平面螺旋线圈的厚度。

3.根据权利要求2所述的贴片式电感，其特征在于，构成所述介电结构的材料包括PI。

4.根据权利要求1所述的贴片式电感，其特征在于，所述多层平面螺旋状线圈结构的轴向垂直于所述引脚层所在平面，或者所述多层平面螺旋状线圈结构的轴向平行于所述引脚层所在平面。

5.根据权利要求1所述的贴片式电感，其特征在于，沿所述多层平面螺旋状线圈结构的轴向，所述多层平面螺旋状线圈结构包括多个单层平面螺旋状线圈结构，所述单层平面螺旋状线圈结构形成至少一圈线圈结构。

6.根据权利要求1所述的贴片式电感，其特征在于，所述引脚结构包括焊盘结构以及位于所述焊盘结构上的金属结构，所述螺旋状线圈结构的两个端部分别与对应的金属结构电连接。

7.一种贴片式电感的制作方法，用于制作权利要求1-6任一项所述的贴片式电感，其特征在于，所述制作方法包括：

形成衬底；

在所述衬底上形成第一图案化金属结构；

在所述第一图案化金属结构上形成第一绝缘层并在所述第一绝缘层的设定位置上形成通孔结构；

在所述第一绝缘层上形成第二图案化金属结构，所述第二图案化金属结构通过位于所述第一绝缘层的所述通孔结构与所述第一图案化金属结构电连接；

交替形成绝缘层与图案化金属结构，直至形成第N绝缘层；其中，N为大于1的整数；

形成引脚结构。

8.根据权利要求7所述的贴片式电感的制作方法，其特征在于，在形成引脚结构之后，还包括：

去除所述衬底或研磨所述衬底。

9.根据权利要求7所述的贴片式电感的制作方法，其特征在于，利用电镀工艺、溅射工艺或刻蚀工艺形成第M1图案化金属结构；其中，M1为正整数。

10.根据权利要求7所述的贴片式电感的制作方法，其特征在于，构成第M2绝缘层的材料包括PI，利用干法刻蚀工艺或者激光刻蚀工艺在第M2绝缘层的所述设定位置上形成通孔结构；其中，M2为正整数。