[发明专利]一种高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法在审
申请号: | 201811192693.3 | 申请日: | 2018-10-13 |
公开(公告)号: | CN109411362A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 张军伟;张贺源;冯忠卿 | 申请(专利权)人: | 深圳粤通应用材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;B21C1/00;B21C37/04;C22C1/03;C22C5/08;C22F1/14 |
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地址: | 518052 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 中间合金 退火 合金丝 键合 制备 高分子化合物 冷热冲击 合金棒 熔炼 银片 致密 表面活性剂 表面形成 惰性气体 无水乙醇 保护层 次拉丝 拉丝机 双蒸水 重复 拉丝 拉铸 氖气 绕线 熔铸 | ||
1.一种高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1制备银片:利用电解将银块纯度提纯至99.995%,并将之制成银片;
S2制备中间合金:所述中间合金为银-钙中间合金、银-铜中间合金中的一种;所述制作中间合金,包括以下步骤:a.按重量百分比称取99.995%银片99.43%-99.50%,称取钙0.50-0.57%;称取银片95%,称取铜片5%;b.保护气体熔炼;c.在保护气体下,自然冷却;d.酸洗;
S3熔炼:将步骤S2中得到的中间合金加入到99.995%的银中,并在惰性气体氖气的保护下进行熔炼,拉铸,形成合金棒;
S4拉丝:将熔铸的合金棒在拉丝机上逐步拉细,直至直径70-100μm;
S5退火:将拉丝后所得的合金线装在压力为0.2-0.4MPa,水温为40-80℃的高压水清洗系统中进行清洗;再退火,退火温度温度为300-600℃,退火速度为62mm/min;
S6:重复步骤S4进行第二次拉丝和重复步骤S5进行第二次退火;
S7表面处理:在键合合金丝表面附上一层高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性剂、10%无水乙醇及80%双蒸水组成,能在键合合金丝表面形成一层很薄很致密的保护层;S8绕线:将键合合金丝缠绕于成品线轴,并真空包装。
2.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述电解提纯的电解液为高纯水稀释的硝酸银溶液,电流为1.8~4.2A,电压为5~12V,温度至高为65℃。
3.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S7中退火后的表面处理指在键合合金丝表面附上一层高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性剂、10%无水乙醇及80%双蒸水组成。
4.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S5中退火前经过超声波清洗机清洗残留润滑剂。
5.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中保护气体熔炼的熔炼功率为10kW,待完全熔化后保持温度精炼10min。
6.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中酸洗过程指将生成的中间合金先用纯水冷却,然后放到烧杯中并加入浓盐酸,将烧杯放到电炉上加热15min,煮完后再用纯水洗,最后用压缩空气吹干。
7.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述绕线是将表面清洁处理后的键合合金丝绕制在卷轴上,绕线张力为2~15g,绕线速度为50~80m/min,线间距为4.5~5.5mm,分卷长度为300~1000m/轴。
8.根据权利要求1所述的高强度耐冷热冲击键合合金丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中,其拉丝过程中的模具延伸率为5%-18%,拉丝速度为3-15m/s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造