[发明专利]一种纳米位移电容传感器测试夹持机构

说明书

本发明公开了纳米位移电容传感器测试夹持机构，导向柱安装在底座上，压板上开设有通孔，导向柱穿过通孔与压板连接，以使该压板沿导向柱滑动，压板的两端安装有紧固螺钉，压板的中间安装有锁紧螺钉，锁紧螺钉的下端安装有螺钉垫块，用于与纳米位移电容传感器接触，螺钉垫块与底座之间构成支撑空间。本发明的有益效果是导向柱对压板的移动起到导向作用，可以灵活调节并且能够夹持固定位置，适用于测试不同规格的纳米位移电容传感器，压板通过紧固螺钉使压板受力均匀，不会造成纳米位移电容传感器的偏斜，以提高测试精度。底座支撑槽与螺纹垫块的压力锁紧纳米位移传感器，保证其与测试板端面之间的平行度，提高测试夹持机构的测试精确度。

技术领域

本发明属于微纳操控与高精度定位技术领域，尤其是涉及一种纳米位移电容传感器测试夹持机构。

背景技术

随着我国制造业的快速发展，超精密运动控制平台在高端制造领域具有基础性的地位，而高精密运动控制平台的设计和研发离不开高精密的测量传感器，其中纳米位移电容传感器在众多的传感器中具有技术含量高、精度高的特点，因此为了设计出更高精度和可靠性的电容传感器，需要通过对新研发的电容传感器各项指标进行测试，从而验证已有设计的好坏，进一步改进设计，提高电容传感器的测量精度。

纳米位移电容传感器由平板式和柱状两种结构形式，其中，平板式电容传感器可以通过螺纹孔连接固定在测试平台上，但是柱状电容传感器不能采用螺纹孔进行连接，目前，市面上出现的测量电容传感器的装置的精度低，针对不同规格的电容传感器测试时，需要多种规格的测试夹紧工装，其测试成本高，使用繁琐。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、可快速安装定位、可根据不同规格的电容传感器调节、操作简单、测试成本低、测试精度高、生产效率高的纳米位移电容传感器测试夹持机构。

本发明的技术方案如下：

一种纳米位移电容传感器测试夹持机构，包括用于支撑纳米位移电容传感器的底座、压板和导向柱，所述导向柱安装在所述底座上，所述压板上开设有通孔，所述导向柱穿过通孔与所述压板连接，以使该压板沿导向柱滑动，所述压板的两端安装有紧固螺钉，所述压板的中间安装有锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的下端安装有螺钉垫块，用于与纳米位移电容传感器接触，所述螺钉垫块与底座之间构成支撑空间，用于放置所述纳米位移电容传感器。

在上述技术方案中，所述底座的上端开设有支撑槽，用于支撑所述纳米位移电容传感器。

在上述技术方案中，所述支撑槽为V形槽，纳米位移电容传感器的上端与螺钉垫块接触，下端与V形槽的槽面接触，通过上述固定方式能够保证在锁紧过程中对于纳米位移电容传感器与测试板断面之间的平行度，提高测试性能。

在上述技术方案中，所述压板的两端开设有紧固螺纹孔，所述紧固螺钉通过紧固螺纹孔与所述压板连接，用于锁紧压板在导向柱上的位置。

在上述技术方案中，所述通孔与所述紧固螺纹孔连通。

在上述技术方案中，所述压板的中间开设有锁紧螺纹孔，所述锁紧螺钉与锁紧螺纹孔螺纹连接。

在上述技术方案中，所述导向柱的数量为N，N≥2。

在上述技术方案中，N个所述导向柱相互平行。

在上述技术方案中，所述螺纹垫块采用聚四氟乙烯制成，减小锁紧螺钉对于纳米位移电容器外观的损坏。

在上述技术方案中，所述底座采用黄铜制成，减小支撑槽的支撑面对于纳米位移电容器外观的损坏。

本发明具有的优点和积极效果是：

1.导向柱对压板的移动起到导向作用，可以灵活调节并且能够夹持固定位置，适用于测试不同规格的纳米位移电容传感器，压板通过紧固螺钉使压板受力均匀，不会造成纳米位移电容传感器的偏斜，以提高测试精度。