[发明专利]物理量测量装置、电子设备和移动体

权利要求书

1.一种物理量测量装置，其特征在于，包含：

传感器元件，其具有第1驱动电极、第2驱动电极和第1检测电极、第2检测电极，在所述第1驱动电极与所述第1检测电极之间以及所述第1驱动电极与所述第2检测电极之间形成耦合电容；以及

电路装置，其具有驱动电路、检测电路和故障诊断电路，所述驱动电路向所述第1驱动电极供给驱动信号，被输入来自所述第2驱动电极的反馈信号，所述检测电路根据来自所述第1检测电极的第1检测信号和来自所述第2检测电极的第2检测信号，检测与物理量对应的物理量信息，

所述故障诊断电路具有提取基于所述耦合电容的静电泄漏成分的静电泄漏成分提取电路，所述故障诊断电路根据提取出的所述静电泄漏成分来进行故障诊断，

所述驱动电路输出作为矩形波的所述驱动信号，

所述静电泄漏成分提取电路具有：

第1微分电路，其被输入所述第1检测信号或作为所述第1检测信号的放大信号的第1放大信号；以及

第2微分电路，其被输入所述第2检测信号或作为所述第2检测信号的放大信号的第2放大信号，

通过所述第1微分电路和所述第2微分电路，提取由于作为矩形波的所述驱动信号的上升沿或者下降沿而引起的所述第1检测信号、所述第2检测信号或者所述第1放大信号、所述第2放大信号的变化，作为所述静电泄漏成分，

所述传感器元件包含基部、驱动臂和检测臂，

在所述基部沿着第1方向配置有被输入所述驱动信号的第1驱动用端子和输出所述反馈信号的第2驱动用端子，

在所述基部沿着与所述第1方向垂直的第2方向配置有输出所述第1检测信号的第1检测用端子和输出所述第2检测信号的第2检测用端子。

2.根据权利要求1所述的物理量测量装置，其特征在于，

所述第2驱动用端子以包围所述第1驱动用端子的方式延伸设置于所述第1驱动用端子与所述第1检测用端子、所述第2检测用端子之间。

3.根据权利要求1或2所述的物理量测量装置，其特征在于，

所述故障诊断电路包含：

波高值转换电路，其对作为所述第1微分电路和所述第2微分电路的输出信号的、脉冲信号的波高值进行转换，输出转换电压；以及

判定电路，其进行来自所述波高值转换电路的所述转换电压与阈值电压的比较判定，从而进行所述故障诊断的判定。

4.根据权利要求1或2所述的物理量测量装置，其特征在于，

所述故障诊断电路包含：

计数器电路，其进行作为所述第1微分电路和所述第2微分电路的输出信号的、脉冲信号的计数处理；以及

判定电路，其根据所述计数器电路的计数值，进行所述故障诊断的判定。

5.根据权利要求1或2所述的物理量测量装置，其特征在于，

在所述检测电路检测所述物理量信息的检测期间，所述故障诊断电路进行所述故障诊断。

6.根据权利要求1或2所述的物理量测量装置，其特征在于，

以覆盖所述基部的所述第1驱动用端子、所述第2驱动用端子和所述第1检测用端子、所述第2检测用端子的方式设置有电介质。

7.根据权利要求1或2所述的物理量测量装置，其特征在于，

所述检测电路包含：

第1电荷/电压转换电路，其对所述第1检测信号进行放大，输出所述第1放大信号；以及

第2电荷/电压转换电路，其对所述第2检测信号进行放大，输出所述第2放大信号，

所述静电泄漏成分提取电路提取来自所述第1电荷/电压转换电路、所述第2电荷/电压转换电路的所述第1放大信号、所述第2放大信号的所述静电泄漏成分。

8.根据权利要求7所述的物理量测量装置，其特征在于，

所述检测电路包含：

差动放大器，其进行输入到所述故障诊断电路的所述第1放大信号、所述第2放大信号的差动放大；以及

同步检波电路，其根据由所述差动放大器进行差动放大后的信号，进行同步检波。