[发明专利]一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置及其方法

权利要求书

1.一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置，其特征在于，包括用于固定样品(18)的夹持装置、为获得脉冲电子束的电子束装置和密闭装置，所述夹持装置包括滑轨(2)、夹钳(3)、支撑台(5)，所述滑轨(2)通过螺丝(1)固定在支撑台(5)的上端，所述夹钳(3)与滑轨(2)嵌套在一起，所述滑轨(2)上安装有用于固定夹钳(3)的销(4)，所述电子束装置包括电子枪(6)、偏转线圈(7)、氩气瓶(9)、连通管、氩气阀(8)，所述氩气瓶(9)通过管道与电子枪(6)连接，所述氩气阀(8)安装在氩气瓶(9)与电子枪(6)的连通管之间，所述密封装置包括实验腔(10)、气压计(13)、氮气阀(16)、旋转泵(11)、涡轮分子泵(14)、排气口(12)、氮气瓶(17)以及闸门阀(15)，所述实验腔(10)设置于整个装置的外侧且与外界环境密闭，所述旋转泵(11)与实验腔(10)连通，所述氮气瓶(17)与氮气阀(16)均连接于涡轮分子泵(14)之后，所述涡轮分子泵(14)安装于氮气阀(16)与实验腔(10)之间，所述闸门阀(15)安装在涡轮分子泵(14)与实验腔(10)之间连通管上。

2.根据权利要求1所述的一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置，其特征在于，所述夹持装置包括滑轨(2)、夹钳(3)、螺丝(1)、销(4)、支撑台(5)均由高温合金制成。

3.一种用权利要求1所述装置实现细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、首先调整夹钳(3)之间的间距，将样品(18)固定于夹钳(3)之间，利用销(4)固定夹钳(3)位置防止滑动；将样品(18)置于支撑台(5)上的夹钳(3)中间，通过两个销(4)将夹钳(3)固定于滑轨(2)的某一适合的位置以固定样品(18)，两个螺丝(1)将滑轨(2)固定于支撑台(5)上；

S2、将固定好样品(18)后排出实验腔(10)内空气，启动旋转泵(11)，空气通过旋转泵(11)后经由排气口(12)排除，并且通过气压计(13)实时监测实验腔(10)内气压是否达到电子枪工作状态，达到1.33×10^-2～1.33×10^-4Pa后，开启氩气阀(8)并将氩气瓶(7)同时开启后，打开电子枪(6)进行工作；

S3、样品(18)处理完毕后，关闭电子枪(6)和氩气瓶(9)以及其氩气阀(8),然后打开氮气瓶(17)以及氮气阀(16)，打开涡轮分子泵(14)以及闸门阀(15)，将实验腔(10)内充入氮气，将舱内气压达到正常水平，最后取出样品(18)。