[发明专利]一种管型靶材的生产方法在审

专利信息
申请号: 201811061946.3 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN109097747A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 曾墩风;罗永春;王志强 申请(专利权)人: 芜湖映日科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22F3/15;B22F3/20;B22F3/24;B22F5/12
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 胡定华
地址: 241000 安徽省芜湖市经济*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 钼管 不锈钢包套 挤压加工 靶材 种管 钼粉 生产 抽真空处理 费氏粒度 工艺步骤 工作效率 机械加工 加热成型 热等静压 人力成本 预定条件 钼材料 封焊 去除 振实 加热 装入 备用 成型 压缩 节约 加工 制造
【说明书】:

发明提供一种管型靶材的生产方法,所述生产方法步骤如下:步骤一:选用费氏粒度2~5μm的钼粉备用;步骤二:将钼粉装入设计好的管型不锈钢包套中,充分振实;步骤三:对不锈钢包套进行抽真空处理,并且进行封焊;步骤四:在预定条件下对物料进行压缩加热成型;步骤五:将不锈钢包套去除,得到钼管胚;步骤六:将钼管胚加热,同时进行挤压加工;步骤七:将完成挤压加工的钼管胚进行机械加工,得到成品钼管。通过热等静压成型及挤压加工的方式对钼材料进行处理加工,制成钼管,提高工作效率,降低生产成本,缩短生产时间,提高钼管的品质,并且通过较少的工艺步骤完成钼管靶材的制造,节约人力成本。

技术领域

本发明涉及管型靶材制造生产领域,尤其涉及一种管型靶材的生产方法。

背景技术

目前在制造管型靶材时,会使用钼管或钼合金管作为原料进行加工,目前对钼管进行制造时,通常使用的方式为将钼粉末使用砂芯的挠性铸模进行挤压烧结,但是上述工作在制造中成本较大,且制造时间较长,并且需要使用退火工艺进行处理,增加工艺步骤,进而增加加工时间。因此,解决管型靶材制造时成本较高且加工时间较长的问题就显得尤为重要了。

发明内容

为解决上述问题,本发明的目的提供一种管型靶材的生产方法,通过热等静压成型及挤压加工的方式对钼材料进行处理加工,制成钼管,提高工作效率,降低生产成本,缩短生产时间,解决了管型靶材制造时成本较高且加工时间较长的问题。

本发明提供一种管型靶材的生产方法,所述生产方法步骤如下:

步骤一:选用费氏粒度2~5μm的钼粉备用;

步骤二:将钼粉装入设计好的管型不锈钢包套中,充分振实;

步骤三:对不锈钢包套进行抽真空处理,并且进行封焊;

步骤四:在预定条件下对物料进行压缩加热成型;

步骤五:将不锈钢包套去除,得到钼管胚;

步骤六:将钼管胚加热,同时进行挤压加工;

步骤七:将完成挤压加工的钼管胚进行机械加工,得到成品钼管。

进一步改进在于:所述步骤四中进行压缩预成型的温度为1100~1400℃,压力为100~200Mpa。

进一步改进在于:所述步骤六中对钼管胚将进行加热时的加热温度为1100~1400℃。

进一步改进在于:所述步骤七中对钼管胚进行机械加工,是将钼管胚上多余的部分去除,多余的废料回收后重复进行钼管修补工作。

本发明的有益效果:通过热等静压成型及挤压加工的方式对钼材料进行处理加工,制成钼管,提高工作效率,降低生产成本,缩短生产时间,提高钼管的品质,并且通过较少的工艺步骤完成钼管靶材的制造,节约人力成本。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。

本实施例提供一种管型靶材的生产方法,所述生产方法步骤如下:

步骤一:选用费氏粒度2~5μm的钼粉备用;

步骤二:将钼粉装入设计好的管型不锈钢包套中,充分振实;

步骤三:对不锈钢包套进行抽真空处理,并且进行封焊;

步骤四:在预定条件下对物料进行压缩加热成型;

步骤五:将不锈钢包套去除,得到钼管胚;

步骤六:将钼管胚加热,同时进行挤压加工;

步骤七:将完成挤压加工的钼管胚进行机械加工,得到成品钼管。

所述步骤四中进行压缩预成型的温度为1350℃,压力为180Mpa。所述步骤六中对钼管胚将进行加热时的加热温度为1250℃。所述步骤七中对钼管胚进行机械加工,是将钼管胚上多余的部分去除,多余的废料回收后重复进行钼管修补工作。通过热等静压成型及挤压加工的方式对钼材料进行处理加工,制成钼管,提高工作效率,降低生产成本,缩短生产时间,提高钼管的品质,并且通过较少的工艺步骤完成钼管靶材的制造,节约人力成本。

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