[发明专利]抓取装置及具有该抓取装置的电子芯片测试设备在审
申请号: | 201811043006.1 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN109116218A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 陆天辰 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;B25J15/06 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸盘 抓取装置 电子芯片 定位槽 把杆 内腔 抽气机构 吸风口 测试设备 下端口 负压吸附 绝缘材料 内腔连通 吸盘底面 吸盘连接 负压 竖直 下端 匹配 贯通 配置 | ||
本公开提出一种抓取装置及具有该抓取装置的电子芯片测试设备,抓取装置包括把杆、吸盘以及抽气机构。把杆具有内腔,内腔在把杆下端形成下端口。吸盘连接于把杆的下端口,吸盘底面开设有定位槽,定位槽与电子芯片的形状相匹配,定位槽的槽底开设有竖直贯通吸盘的吸风口,吸风口与内腔连通,吸盘采用绝缘材料制成。抽气机构设于内腔,抽气机构被配置为将吸盘下方的空气由吸风口抽至内腔而使吸盘下方形成负压,以使电子芯片通过负压吸附于定位槽。
技术领域
本公开涉及电子芯片测试设备技术领域,尤其涉及一种抓取装置及具有该抓取装置的电子芯片测试设备。
背景技术
目前利用现有芯片测试机对电子芯片进行测试时,例如利用ADVANTEST芯片测试机对内存颗粒进行测试时,都是通过人手拿取内存颗粒,然后再将内存颗粒放置在测试机的测试板上。然而,由于内存颗粒尺寸较小(通常为1.6cm×0.8cm左右),因此较难将内存颗粒拿取,也较难将内存颗粒准确地放置到测试板的芯片颗粒测试槽中。另外,由于人体带有静电,上述直接用人手拿取内存颗粒的抓取方式,容易对内存颗粒造成静电损坏。
再者,为了解决上述静电损坏的问题,现有测试是利用绝缘材料制成的镊子抓取内存颗粒。然而,镊子虽然能够实现对内存颗粒的抓取,但是由于镊子的受力点较小,抓取内存颗粒容易破坏内存颗粒的表面以及测试板,而且也较难将内存颗粒较准确地放置到颗粒测试槽中。
发明内容
本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种便于抓取且不易损坏电子芯片的抓取装置。
本公开的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种具有上述抓取装置的电子芯片测试设备。
为实现上述目的,本公开采用如下技术方案:
根据本公开的一个方面,提供一种抓取装置,用以抓取电子芯片。其中,所述抓取装置包括把杆、吸盘以及抽气机构。所述把杆具有内腔,所述内腔在所述把杆下端形成下端口。所述吸盘连接于所述把杆的下端口,所述吸盘底面开设有定位槽,所述定位槽与所述电子芯片的形状相匹配,所述定位槽的槽底开设有竖直贯通所述吸盘的吸风口,所述吸风口与所述内腔连通,所述吸盘采用绝缘材料制成。所述抽气机构设于所述内腔,所述抽气机构被配置为将所述吸盘下方的空气由所述吸风口抽至所述内腔而使所述吸盘下方形成负压,以使所述电子芯片通过所述负压吸附于所述定位槽。
根据本公开的其中一个实施方式,所述定位槽与所述电子芯片在水平方向上的形状相同。
根据本公开的其中一个实施方式,所述定位槽的槽深为所述电子芯片的厚度的0.5倍~1倍。
根据本公开的其中一个实施方式,所述抽气机构包括风扇、电机以及电池。所述风扇设于所述内腔。所述电机设于所述内腔且传动连接于所述风扇,所述电机被配置为驱动所述风扇转动,并控制所述风扇的转速和转动方向。所述电池设于所述内腔且电连接于所述电机,所述电池被配置为对所述电机供电。
根据本公开的其中一个实施方式,所述电子芯片的上表面设有第一标识,所述吸盘的上表面设有第二标识,所述第二标识相对于所述吸盘上表面的相对位置与所述第一标识相对于所述电子芯片上表面的相对位置相匹配。
根据本公开的其中一个实施方式,所述吸盘顶部设有套管,所述套管与所述吸风口连通,所述套管可升降地套设于所述把杆的下端口中。
根据本公开的另一个方面,提供一种电子芯片测试设备,包括测试板以及测试装置。所述测试板用于承载电子芯片,所述测试装置用于对所述电子芯片进行测试。其中,所述电子芯片测试设备还本公开提出的并在上述实施方式中说明的抓取装置。
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