[发明专利]太阳能电池及制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

柔性衬底(100)；

背电极层(200)，设置于所述柔性衬底(100)表面；

吸收层(300)，设置于所述背电极层(200)远离所述柔性衬底(100)的表面；

缓冲层(400)，设置于所述吸收层(300)远离所述背电极层(200)的表面；

高阻层(500)，设置于所述缓冲层(400)远离所述吸收层(300)的表面；以及，

窗口层(600)，设置于所述高阻层(500)远离所述缓冲层(400)的表面，所述窗口层(600)包括层叠设置的氧化铟锡(ITO)层(610)和掺铝氧化锌(AZO)层(620)，所述氧化铟锡层(610)覆盖于所述高阻层(500)表面，所述掺铝氧化锌层(620)远离所述氧化铟锡层(610)的表面具有纳米结构阵列。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述掺铝氧化锌层(620)包括：

结合层(622)，覆盖于所述氧化铟锡层(610)的表面；以及，

纳米阵列层(624)，覆盖于所述结合层(622)远离所述氧化铟锡层(610)的表面。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述纳米阵列层(624)由多个纳米结构组成，所述纳米结构的形状包括纳米锥、纳米柱或纳米点其中至少一种。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于，所述纳米结构的周期为10nm-1000nm。

5.根据权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于，所述纳米结构的直径为10nm-1000nm。

6.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述纳米阵列层(624)的厚度为20nm-1000nm。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池，其特征在于，所述纳米阵列层(624)的厚度为100nm-200nm。

8.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述结合层(622)的厚度为0nm-1000nm。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述氧化铟锡(ITO)层(610)的厚度为0nm-1000nm。

10.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

S100，提供一柔性衬底(100)；

S200，在所述柔性衬底(100)表面制备背电极层(200)；

S300，在所述背电极层(200)远离所述柔性衬底(100)的表面制备吸收层(300)；

S400，在所述吸收层(300)远离所述背电极层(200)的表面制备缓冲层(400)；

S500，在所述缓冲层(400)远离所述吸收层(300)的表面制备高阻层(500)；

S600，在所述高阻层(500)远离所述缓冲层(400)的表面制备窗口层(600)，所述窗口层(600)包括氧化铟锡(ITO)层(610)和设置于所述氧化铟锡层(610)远离所述高阻层(500)表面的掺铝氧化锌(AZO)层(620)；

S700，利用湿法刻蚀将所述AZO层(620)刻蚀形成间隔设置的纳米结构阵列。

11.根据权利要求10所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的刻蚀液的pH值小于7。

12.根据权利要求10所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的温度为20℃-30℃。

13.根据权利要求10所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的刻蚀时间为1min-30min。