[发明专利]一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统

权利要求书

1.一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：该系统包括闪蒸设备（1）、真空过滤设备（2）、浓缩设备（5）、水解设备（6）、粗氯硅烷储罐（7）、精氯硅烷储罐（8）和尾气处理设备（10）；所述闪蒸设备（1）分别连有硅渣浆输送管道（11）、所述真空过滤设备（2），并通过深冷设备Ⅰ（91）与所述粗氯硅烷储罐（7）相连；所述粗氯硅烷储罐（7）与所述真空过滤设备（2）相连，并通过所述尾气处理设备（10）与所述精氯硅烷储罐（8）相连；所述尾气处理设备（10）与所述真空过滤设备（2）相连，该真空过滤设备（2）分别连有清液罐（3）、滤渣罐（4）；所述清液罐（3）通过所述浓缩设备（5）分别连有深冷设备Ⅱ（92）、所述水解设备（6）；所述滤渣罐（4）与所述水解设备（6）相连，该水解设备（6）分别与废水处理单元（61）、稀碱液输送管道（62）相连；所述深冷设备Ⅱ（92）与所述精氯硅烷储罐（8）相连。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述闪蒸设备（1）是指带搅拌和伴热的闪蒸罐或闪蒸塔。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述真空过滤设备（2）是指采用文丘里+干式真空泵联合方式的真空转鼓过滤系统。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述浓缩设备（5）是指热源为蒸汽或导热油的带塔底再沸器和塔顶冷凝器的精馏塔或分离塔，且塔底设有淘洗腿结构。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述水解设备（6）是指搅拌釜或立式搅拌塔。

6.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述深冷设备Ⅰ（91）和所述深冷设备Ⅱ（92）均是指冷媒为乙二醇或氟利昂的管壳式换热器或螺旋板式换热器。

7.如权利要求1所述的一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，其特征在于：所述尾气处理设备（10）是指板式塔或填料塔。