[发明专利]双向高维持电流ESD防护器件

权利要求书

1.一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于包括：P型衬底(00)、位于P型衬底(00)上方左侧的第一NWELL区(101)、位于第一NWELL区(101)内部上方的第一N+接触区(111)、位于第一NWELL区(101)内部上方的第一P+接触区(211)、位于第一NWELL区(101)内部上方的第一隔离区(011)、位于第一NWELL区(101)内部第一N型埋层(131)；其中，第一P+接触区(211)位于第一N+接触区(111)右侧，第一隔离区(011)位于第一P+接触区(211)右侧，第一N型埋层(131)位于第一N+接触区(111)、第一P+接触区(211)、第一隔离区(011)下方且与第一N+接触区(111)、第一隔离区(011)相切；位于P型衬底上方右侧的第二NWELL区(102)、位于第二NWELL区(102)内部上方的第二N+接触区(112)、位于第二NWELL区(102)内部上方的第二P+接触区(212)、位于第二NWELL区(102)内部上方的第二隔离区(012)、位于第二NWELL区(102)内部第二N型埋层(132)；其中，第二P+接触区(212)位于第二N+接触区(112)左侧，第二隔离区(012)位于第二P+接触区(212)左侧，第二N型埋层(132)位于第二N+接触区(112)、第二P+接触区(212)、第二隔离区(012)下方且与第二N+接触区(112)、第二隔离区(012)相切；第一N+接触区(111)与第一P+接触区(211)通过金属短接形成金属阳极(31)；第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极(32)；第一隔离区(011)为N+重掺杂区或STI区，第二隔离区(012)为N+重掺杂区或STI区。

2.根据权利要求1所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：第一NWELL区(101)与第二NWELL区(102)中间设有PWELL区(20)。

3.根据权利要求2所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：第一NWELL区(101)与PWELL区(20)之间设有第一低触发区(021)，且第一低触发区(021)一部分在第一NWELL区(101)内、一部分在PWELL区(20)内；第二NWELL区(102)与PWELL区(20)之间设有第二低触发区(022)，且第二低触发区(022)一部分在第二NWELL区(102)内、一部分在PWELL区(20)内。

4.根据权利要求3所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：第一低触发区(021)的掺杂类型是P型，或N型；第二低触发区(022)的掺杂类型是P型，或N型。

5.根据权利要求3所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：PWELL区(20)上表面设有栅氧化层(030)，且栅氧化层(030)左边与第一低触发区(021)相切、右边与第二低触发区(022)相切，栅氧化层(030)上设有多晶硅或金属栅极(040)。

6.根据权利要求5所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：第一NWELL区(101)上表面设有第一栅氧化层(031)，且第一栅氧化层(031)左边与第一隔离区(011)相切、右边与第一低触发区(021)相切，第一栅氧化层(031)上设有第一多晶硅或金属栅极(041)；第二NWELL区(102)上表面设有第二栅氧化层(032)，且第二栅氧化层(032)左边与第二低触发区(022)相切、右边与第二隔离区(012)相切，第二栅氧化层(032)上设有第二多晶硅或金属栅极(042)。

7.根据权利要求1所述的一种双向高维持电流ESD防护器件，其特征在于：第一NWELL区(101)内部上表面设有第一NTOP层(141)；第二NWELL区(102)内部上表面设有第二NTOP层(142)；P型衬底上表面设有PTOP层(24)。