[发明专利]检查系统和检查用图像的修正方法

说明书

本发明提供一种检查系统。该检查系统包括：第一拍摄装置(10)，其被设置于第一检查装置(1)；第二拍摄装置(40)，其被设置于第二检查装置(2)；第一校正数据获取单元，用于在第一拍摄装置(10)拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，该校准夹具被定位于第一检查装置(1)的预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在第二拍摄装置(40)拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，该校准夹具被定位于第二检查装置(2)，然后获取用于修正第二拍摄装置拍摄的图像以使第二特征数据与第一特征数据一致的修正量，第二检查装置使用该修正量修正检查对象物的图像。

技术领域

本发明涉及一种检查系统和检查用图像的修正方法。

背景技术

以往，已知一种通过拍摄装置拍摄检查对象物并对拍摄到的图像进行图像处理后，使用处理后的图像进行检查的检查装置(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-181732号公报

发明内容

发明所要解决的问题

如上所述的检查装置例如用于检查以高密度配置在电子设备的基板上的部件的位置和状态，近年来，越来越需要以几十μm为单位判断部件的位置和状态是否存在异常的检查装置。在这种情况下，由于拍摄装置的透镜的像差、检查对象物的定位装置与拍摄装置之间的相对位置的轻微偏移，会导致无法精确地进行上述的位置和状态的检查。

为了进行精确的检查，在上述检查装置中，对固定于定位装置的校准夹具进行拍摄，基于拍摄到的图像中的校准夹具的多个特征点和这些特征点原本应处于的位置之间的差而制作校正数据，并利用校正数据校正用于检查的拍摄图像。

另一方面，虽然可以利用检查装置预先拍摄并存储检查对象物的各种合格样本图像、不合格样本图像等以提高检查对象物的位置和状态的检查精度，但存储这样的图像需要大量的时间和样品。

此外，在存在多条检查线且每条检查线都设置有上述检查装置的情况下，针对每个检查装置，透镜的像差和检查对象物的定位装置与拍摄装置之间的相对位置的偏移是不同的。因此，针对每个检查装置，上述的校正数据也变得不同，由于需要利用各个检查装置的校正数据校正样本图像，因而也需要按照各个检查装置准备样本图像。

本发明正是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够在多个检查装置中使用共通的样本图像的检查系统和检查用图像的修正方法。

解决问题的手段

为了解决上述课题，本发明采用以下手段。

本发明的第一方面的检查系统被构成为，包括：第一拍摄装置，其被设置于第一检查装置；第一图像处理单元，用于对所述第一拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第一检查装置的预定位置处；第二拍摄装置，其被设置于第二检查装置；第二图像处理单元，用于对所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第二检查装置的预定位置处；第一校正数据获取单元，用于在所述第一拍摄装置拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，所述校准夹具被定位于所述第一检查装置的所述预定位置处；第二校正数据获取单元，用于在所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，所述校准夹具被定位于所述第二检查装置的所述预定位置处；以及图像修正量获取单元，用于修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量，其中，所述第二图像处理单元被构成为使用所述修正量修正所述检查对象物的所述图像。