[发明专利]检查系统和检查用图像的修正方法

权利要求书

1.一种检查系统，其特征在于，包括：

第一拍摄装置，其被设置于第一检查装置；

第一图像处理单元，用于对所述第一拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第一检查装置的预定位置处；

样本图像准备单元，用于获取在多个所述检查对象物的各种状态下由所述第一拍摄装置拍摄到的各种合格样本图像和/或不合格样本图像，即获取光学系统的像差的影响未被修正的合格样本图像和/或不合格样本图像；

第二拍摄装置，其被设置于第二检查装置；

第二图像处理单元，用于对所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像进行图像处理以用于检查，所述检查对象物被定位于所述第二检查装置的预定位置处；

第一校正数据获取单元，用于在所述第一拍摄装置拍摄的校准夹具的图像中获取所述校准夹具的预定特征，并将其存储为第一特征数据，所述校准夹具被定位于所述第一检查装置的所述预定位置处；

第二校正数据获取单元，用于在所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的图像中获取所述校准夹具的所述预定特征，并将其存储为第二特征数据，所述校准夹具被定位于所述第二检查装置的所述预定位置处；以及

图像修正量获取单元，用于修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量，

其中，所述第二检查装置被构成为，获取所述第一检查装置的所述合格样本图像和/或所述不合格样本图像，

所述第二图像处理单元被构成为，通过使用所述修正量修正所述检查对象物的所述图像，从而获取与由所述第一检查装置的所述第一拍摄装置拍摄到所述检查对象物的情况相同的存在有像差的影响的图像，

所述第二检查装置被构成为，使用从所述第一检查装置获取的所述合格样本图像和/或所述不合格样本图像，检查通过所述第二图像处理单元进行了修正的所述图像的所述检查对象物。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，

所述校准夹具具有多个特征点，

所述第一特征数据是所述第一拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据，所述第二特征数据是所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的所述多个特征点的位置数据。

3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，

所述第一特征数据是表示所述第一拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的指定像素的亮度或色调的数据，所述第二特征数据是表示所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像中的指定像素的亮度或色调的数据。

4.一种检查用图像的修正方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一校正数据获取步骤，通过第一检查装置的第一拍摄装置拍摄被定位于所述第一检查装置的预定位置处的校准夹具的图像，获取所拍摄的图像中的所述校准夹具的预定特征并将其作为第一特征数据；

第二校正数据获取步骤，通过第二检查装置的第二拍摄装置拍摄被定位于所述第二检查装置的预定位置处的所述校准夹具的图像，获取所拍摄的图像中的所述校准夹具的所述预定特征并将其作为第二特征数据；

样本图像准备步骤，在多个检查对象物的各种状态下，所述第一检查装置获取由所述第一拍摄装置拍摄到的各种合格样本图像和/或不合格样本图像，即获取光学系统的像差的影响未被修正的合格样本图像和/或不合格样本图像；

样本图像获取步骤，所述第二检查装置获取所述第一检查装置的所述合格样本图像和/或所述不合格样本图像；

图像修正量获取步骤，修正所述第二拍摄装置拍摄的所述校准夹具的所述图像，使得所述第二特征数据与所述第一特征数据一致，并获取该修正量；

检查用图像的修正步骤，所述第二检查装置使用所述修正量修正所述第二拍摄装置拍摄的检查对象物的图像，其中，所述检查对象物被定位于所述预定位置处；以及

检查步骤，所述第二检查装置使用从所述第一检查装置获取的所述合格样本图像和/或所述不合格样本图像，检查通过所述检查用图像修正步骤进行了修正的所述图像的检查对象物。