[发明专利]脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法有效
| 申请号: | 201810913999.7 | 申请日: | 2018-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN109422456B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
| 发明(设计)人: | 金荣男 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号: | C03B33/033 | 分类号: | C03B33/033;C03B33/03 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰;李罡 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 脆性 材料 倾斜 断开 装置 方法 | ||
本发明提供一种脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法,能够通过在进行脆性材料基板的断开工序时使分离工作台通过三个轴同时动作来断开脆性材料基板从而防止因在断开的脆性材料基板的切割面上可能发生的碎裂、扭断现象而导致的不良。本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置包括:具有旋转部(110)的上部单元(100);具有升降支承部(210)和与所述升降支承部(210)的侧部接合的升降部(220)的中间单元(200);以及具有平板板件(320)和在所述平板板件(320)的下部沿长边方向移动的长边方向移动部(310)的下部单元(300)。
技术领域
本发明涉及脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法,进一步详细而言,涉及在进行脆性材料基板的断开工序时使分离工作台通过三个轴同时动作来断开脆性材料基板的脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法。
背景技术
为了在玻璃基板等脆性材料基板上对基板进行断开加工,一般在基板上沿断开预定线形成划线后,通过断开(breaking)工序来断开基板。
在基板形成划线的方法中有通过刀轮等实现的机械性加工方法、通过激光束的照射实现的非接触式加工方法。
另外,在基板上沿断开预定线形成划线后,为了完全断开基板而进行断开工序。在基板的断开方法中有通过使用辊(roller)、推动器(pusher)等对基板施加冲击的接触式方法和通过使用激光或蒸汽(steam)等对基板进行加热后使之冷却的非接触式方法。
但是,当断开OLED玻璃或薄板玻璃这样的脆性材料基板时,存在发生因切割面的碎裂、扭断现象而导致的不良从而使脆性材料基板的生产成品率降低、生产质量降低的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:韩国公开专利公报第2014-0018504号
发明内容
于是,本发明是为了解决上述这样的要求而提出的,其目的是提供一种脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法,能够通过在进行脆性材料基板的断开工序时使分离工作台通过三个轴同时动作来断开脆性材料基板从而防止因在断开的脆性材料基板的切割面上可能发生的碎裂、扭断现象而导致的不良。
为了达到所述目的,本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置包括:上部单元,具有旋转部;中间单元,具有升降支承部和与所述升降支承部的侧部接合的升降部;以及下部单元,具有平板板件和在所述平板板件的下部沿长边方向移动的长边方向移动部。
另外,在本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置中,所述旋转部还包括:分离工作台,具有多个工作台;旋转驱动构件,使所述分离工作台旋转;以及连结托架,连结所述分离工作台和所述旋转驱动构件。
另外,在本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置中,所述分离工作台还包括多个吸附空气的贯通孔。
另外,在本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置中,所述升降部还包括:多个倾斜板;倾斜导轨,位于所述倾斜板的倾斜面;多个倾斜导轨移动构件,沿所述倾斜导轨移动;升降驱动构件,位于所述倾斜板之间并驱动所述倾斜导轨移动构件;以及升降盖,与所述倾斜导轨移动构件连结,在所述升降驱动构件进行驱动时,所述升降盖通过所述倾斜导轨移动构件上升下降。
另外,在本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置中,所述长边方向移动部还包括:多个导轨移动构件,与所述平板板件的下部连结;多个导轨,沿长边方向设置以使所述导轨移动构件移动;长边方向驱动构件,在所述导轨之间沿长边方向设置并驱动所述导轨移动构件;以及杆型托架,所述杆型托架的两端朝彼此相反的方向弯曲,所述杆型托架的一端与所述长边方向驱动构件连结,所述杆型托架的另一端与所述平板板件连结,当所述长边方向驱动构件进行驱动时,所述导轨移动构件和与所述杆型托架的另一端连结的所述平板板件能够沿长边方向移动。
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