[发明专利]脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法有效
| 申请号: | 201810913999.7 | 申请日: | 2018-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN109422456B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
| 发明(设计)人: | 金荣男 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号: | C03B33/033 | 分类号: | C03B33/033;C03B33/03 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰;李罡 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 脆性 材料 倾斜 断开 装置 方法 | ||
1.一种脆性材料基板的倾斜型断开装置,包括:
上部单元,具有旋转部;
中间单元,具有升降支承部和与所述升降支承部的侧部接合的升降部;以及
下部单元,具有平板板件和在所述平板板件的下部沿长边方向移动的长边方向移动部,
所述升降部包括:
多个倾斜板;
倾斜导轨,位于所述倾斜板的倾斜面;
多个倾斜导轨移动构件,沿所述倾斜导轨移动;
升降驱动构件,位于所述倾斜板之间并驱动所述倾斜导轨移动构件;以及
升降盖,与所述倾斜导轨移动构件连结,
在所述升降驱动构件进行驱动时,所述升降盖通过所述倾斜导轨移动构件上升下降,
所述长边方向移动部沿着长边方向移动的动作、所述升降部上升下降的动作以及所述旋转部以旋转轴为中心旋转的动作同时进行,所述旋转部还包括:
分离工作台,具有多个工作台;
旋转驱动构件,使所述分离工作台旋转;以及
连结托架,连结所述分离工作台和所述旋转驱动构件,
所述分离工作台通过所述长边方向移动部能够沿所述长边方向进行前进动作或后退动作,另外,所述分离工作台通过所述升降部能够沿高度方向进行上升动作或下降动作。
2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的倾斜型断开装置,其中,
所述分离工作台还包括多个吸附空气的贯通孔。
3.根据权利要求1所述的脆性材料基板的倾斜型断开装置,其中,
所述长边方向移动部还包括:
多个导轨移动构件,与所述平板板件的下部连结;
多个导轨,沿长边方向设置以使所述导轨移动构件移动;
长边方向驱动构件,在所述导轨之间沿长边方向设置并驱动所述导轨移动构件;以及
杆型托架,所述杆型托架的两端朝彼此相反的方向弯曲,所述杆型托架的一端与所述长边方向驱动构件连结,所述杆型托架的另一端与所述平板板件连结,
当所述长边方向驱动构件进行驱动时,所述导轨移动构件和与所述杆型托架的另一端连结的所述平板板件能够沿长边方向移动。
4.根据权利要求1所述的脆性材料基板的倾斜型断开装置,其中,
所述脆性材料基板的倾斜型断开装置还包括按压单元,
所述按压单元包括:
支承部,具有水平方向支承台和多个高度方向支承台,所述多个高度方向支承台隔开预先确定的间隔而设置,所述水平方向支承台连结所述高度方向支承台;以及
按压部,具有按压轴构件和按压杆构件,所述按压轴构件位于所述水平方向支承台的预先确定的区域,所述按压杆构件通过与所述按压轴构件的一侧连结来上升下降,
依次接合的所述上部单元、所述中间单元以及所述下部单元位于所述按压单元的下部并隔开预先确定的间隔而分隔。
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