[发明专利]一种闪蚀液添加剂及包含该添加剂的闪蚀液的制备方法

权利要求书

1.一种闪蚀液添加剂，按重量份计，由以下物质组成：丙醇5-20份，甲硝唑1-5份，吡唑0.5-5份，磺胺0.5-5份，磺胺噻唑0.5-5份，硫酸0.5-5份，去离子水50-100份。

2.根据权利要求2所述的闪蚀液添加剂，按重量份计，由以下物质组成：丙醇8-15份，甲硝唑2-4份，吡唑1-3份，磺胺1-3份，磺胺噻唑1-3份，硫酸1-3份，去离子水70-90份。

3.根据权利要求2所述的闪蚀液添加剂，按重量份计，由以下物质组成：丙醇10份，甲硝唑2份，吡唑1份，磺胺1份，磺胺噻唑1份，硫酸1份，去离子水84份。

4.如权利要求1-3中任意一项权利要求所述的闪蚀液添加剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）向去离子水中缓慢加入硫酸，溶解完全；

（2）向步骤（1）的溶液中加入磺胺噻唑，并将体系温度升高至70摄氏度，调节转速至20-30转/分钟，至体系中无不溶物；

（3）向步骤（2）的溶液中加入甲硝唑，吡唑和磺胺，搅拌至体系均匀即可。

5.包含权利要求1-3中任意一项权利要求所述的闪蚀液添加剂的闪蚀液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）向反应釜中加入720体积份的去离子水；

（2）向反应釜中加入61.5%浓度的硫酸 140体积份，搅拌均匀；

（3）向反应釜中加入34.5%浓度的双氧水85体积份，搅拌均匀；

（4）向反应釜中加入权利要求1-3中任意一项权利要求所述的闪蚀液添加剂30体积份，搅拌均匀；

（5）向反应釜中加入铜粉30重量份，并在铜粉溶解过程开启冷却装置，确保反应釜内温度不超过40摄氏度。

6.根据权利要求5所述的闪蚀液的制备方法，其特征在于，所述铜粉分三次加入反应釜内。