[发明专利]一种扫描式UVLED曝光机及其扫描方法

权利要求书

1.一种扫描式UVLED曝光机，其特征在于，包括：UVLED扫描光源单元、电性连接所述UVLED扫描光源单元的线阵CCD光源探测单元及电性连接所述UVLED扫描光源单元的UVLED光源控制单元，其中：

所述UVLED扫描光源单元用于出射光束；

所述线阵CCD光源探测单元设置于所述UVLED扫描光源单元的出光面，所述线阵CCD光源探测单元用于扫描所述UVLED扫描光源单元出射的光束，及探测所述光束的近场光强，并将所述近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元；

所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强分布并根据所述近场光强对所述UVLED扫描光源单元的电源进行控制，保证UVLED扫描光源单元的电源稳定，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布。

2.如权利要求1所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，所述UVLED扫描光源单元包括：基板、安装于所述基板上的若干个UVLED以及对应于所述UVLED紧密贴合的自由曲面准直透镜，所述UVLED发出的紫外光线经过所述自由曲面准直透镜准直匀化后，在目标面上形成均匀分布的矩形扫描光斑。

3.如权利要求2所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，所述UVLED扫描光源单元还包括散热热沉，所述基板设置于所述散热热沉上。

4.如权利要求2所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，所述散热热沉为水冷散热或者风冷散热。

5.如权利要求2所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，所述UVLED的波长在365nm-405nm之间。

6.如权利要求5所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，若干所述UVLED的波长相同或者不同。

7.如权利要求1所述的扫描式UVLED曝光机，其特征在于，所述线阵CCD光源探测单元采集近场光强，所述UVLED光源控制单元根据所述近场光强运用蒙特卡洛模拟法确定UVLED电流浮动范围和阈值，取得UVLED电流信号数字量化输出值DQ，并根据所述DQ提供稳定的DQ电源，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布。

8.一种如权利要求1所述的扫描式UVLED曝光机的扫描方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤S110：所述UVLED扫描光源单元出射光束；

步骤S120：所述线阵CCD光源探测单元扫描所述UVLED扫描光源单元出射的光束及探测所述光束的近场光强，并将所述近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元；

步骤S130：所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强并根据所述近场光强对所述UVLED扫描光源单元的电源进行控制，保证UVLED扫描光源单元的电源稳定，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布。

9.如权利要求8所述的扫描式UVLED曝光机的扫描方法，其特征在于，在步骤S130中，所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强并根据所述近场光分布对所述UVLED扫描光源单元进行控制，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布，包括下述步骤：

步骤S131：所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强；

步骤S132：所述UVLED光源控制单元根据所述近场光强运用蒙特卡洛模拟法确定UVLED电流浮动范围和阈值，取得UVLED电流信号数字量化输出值DQ；

步骤S133：所述UVLED光源控制单元根据所述DQ为所述UVLED扫描光源单元提供稳定的DQ电源；

步骤S134：所述线阵CCD光源探测单元持续将所述近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元，若所述近场光强强度稳定，返回上一步；若所述近场光强单点强度异常，进行下一步；

步骤S135：所述线阵CCD光源探测单元对探测的近场光强进行图像处理，对强度异常的单颗或多颗UVLED进行寻址，得到异常的UVLED；

步骤S136：所述UVLED光源控制单元获取异常的UVLED，并返回步骤S132。