[发明专利]高压静电保护器件及等效电路有效

专利信息
申请号: 201810833863.5 申请日: 2018-07-26
公开(公告)号: CN109148438B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 苏庆 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 高压 静电 保护 器件 等效电路
【权利要求书】:

1.一种高压静电保护器件,其特征在于:在高压P-LDMOS的漏端设置一触发电路,当电路正常工作时,所述触发电路为关断状态,当有静电来临时,所述触发电路处于开启状态,使得高压P-LDMOS内的寄生SCR结构被触发开启来泄放静电电荷;

所述SCR结构由在P-LDMOS的漏极端插入N型扩散区形成,漏极端P型扩散区通过一电阻接地,同时通过一电容接到栅极端,N+区接地;栅极端与源极端,对应阱电位连出端共接。

2.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述触发电路由一电阻,一耐高压的电容组成。

3.如权利要求2所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述电容由高压P-LDMOS的栅极电容来形成。

4.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述触发电路由一电阻,一高压二极管组成。

5.如权利要求2或4所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述电阻采用多晶硅来形成,或者采用掺杂的扩散电阻来形成。

6.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:高压P-LDMOS的漏极端的P型扩散区的面积根据触发电压的需要进行调整,面积越大,触发电压越低。

7.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:高压P-LDMOS整体置于一硅衬底上方的埋层内。

8.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:连接电容电阻的P型扩散区化分为多个独立的块状,用于调节触发电压。

9.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一电容、一PNP晶体管、一NPN晶体管和三个电阻组成;

第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一电容的一端、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一电容的另一端与第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一电阻的一端、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第一电阻、第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中,第一电阻和第一电容组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。

10.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一PNP晶体管、一NPN晶体管和三个电阻组成;

第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一电阻的一端、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第一电阻、第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中,第一P型横向扩散MOS晶体管和第一电阻组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。

11.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一电容、一PNP晶体管、一NPN晶体管和两个电阻组成;

第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一电容的一端、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一电容的另一端与第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中第一P型横向扩散MOS晶体管、第一电容和第三电阻组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。

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