[发明专利]高压静电保护器件及等效电路有效
| 申请号: | 201810833863.5 | 申请日: | 2018-07-26 |
| 公开(公告)号: | CN109148438B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
| 发明(设计)人: | 苏庆 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
| 代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
| 地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 高压 静电 保护 器件 等效电路 | ||
1.一种高压静电保护器件,其特征在于:在高压P-LDMOS的漏端设置一触发电路,当电路正常工作时,所述触发电路为关断状态,当有静电来临时,所述触发电路处于开启状态,使得高压P-LDMOS内的寄生SCR结构被触发开启来泄放静电电荷;
所述SCR结构由在P-LDMOS的漏极端插入N型扩散区形成,漏极端P型扩散区通过一电阻接地,同时通过一电容接到栅极端,N+区接地;栅极端与源极端,对应阱电位连出端共接。
2.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述触发电路由一电阻,一耐高压的电容组成。
3.如权利要求2所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述电容由高压P-LDMOS的栅极电容来形成。
4.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述触发电路由一电阻,一高压二极管组成。
5.如权利要求2或4所述的高压静电保护器件,其特征在于:所述电阻采用多晶硅来形成,或者采用掺杂的扩散电阻来形成。
6.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:高压P-LDMOS的漏极端的P型扩散区的面积根据触发电压的需要进行调整,面积越大,触发电压越低。
7.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:高压P-LDMOS整体置于一硅衬底上方的埋层内。
8.如权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于:连接电容电阻的P型扩散区化分为多个独立的块状,用于调节触发电压。
9.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一电容、一PNP晶体管、一NPN晶体管和三个电阻组成;
第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一电容的一端、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一电容的另一端与第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一电阻的一端、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第一电阻、第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中,第一电阻和第一电容组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。
10.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一PNP晶体管、一NPN晶体管和三个电阻组成;
第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一电阻的一端、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第一电阻、第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中,第一P型横向扩散MOS晶体管和第一电阻组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。
11.一种权利要求1所述高压静电保护器件的等效电路,其特征在于:该电路由一P型横向扩散MOS晶体管、一电容、一PNP晶体管、一NPN晶体管和两个电阻组成;
第一P型横向扩散MOS晶体管的源极、栅极和衬底、第一电容的一端、第一PNP晶体管的发射极和第二电阻的一端与电源电压端VDD相连接,第一电容的另一端与第一P型横向扩散MOS晶体管的漏极、第一PNP晶体管的集电极、第三电阻的一端和第一NPN晶体管的基极相连接,第二电阻的另一端与第一PNP晶体管的基极和第一NPN晶体管的集电极相连接,第三电阻的另一端和第一NPN晶体管的发射极接地GND;其中第一P型横向扩散MOS晶体管、第一电容和第三电阻组成了触发电路,第二电阻为寄生的高压N型阱电阻,第三电阻为寄生的高压P型阱电阻。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





