[发明专利]一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器及制作方法

权利要求书

1.一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器，其特征在于，包括ITO玻璃基板，两个ITO玻璃基板之间均匀设置有SU8光栅，SU8光栅通道中填充手性液晶和染料的混合物，所述两个ITO玻璃基板电极之间通过交流电源施加交流电压。

2.权利要求1所述的一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤，

步骤1，清洗ITO玻璃基板，然后烤干去水，在其中一个ITO玻璃基板上形成SU8薄膜；

步骤2，将光刻胶均匀涂敷在ITO玻璃基板上，控制SU8薄膜厚度为20μm，烘箱烘烤使膜体固化；

步骤3，采用皮秒激光加工技术，在SU8薄膜中形成SU8光栅，SU8光栅周期为50μm，SU8光栅槽宽度为20μm；

步骤4，用另外一个ITO玻璃基板覆盖具有SU8光栅的ITO玻璃基板，制作液晶盒，手性液晶和染料的混合物利用毛细作用注入液晶盒中封盒；

步骤5，将泵浦源通过柱透镜垂直聚焦到ITO玻璃基板上，在两个ITO玻璃基板电极之间施加交流电压，形成垂直于ITO玻璃基板的电场，在泵浦源的作用下获得由侧面出射的激光，即平行于ITO玻璃基板方向。

3.根据权利要求2所述的一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器的制作方法，其特征在于：步骤3所述皮秒激光加工技术采用皮秒激光器进行，皮秒激光器为LD泵浦Nd:YAG倍频532nm大功率准连续激光器，激光频率10kHz，脉宽4ps，功率40mW。

4.根据权利要求2所述的一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器的制作方法，其特征在于：步骤4所述手性液晶和染料的混合物由向列相液晶TEB30A、手性剂S-811和激光染料DCM组成，且向列相液晶TEB30A、手性剂S-811和激光染料DCM按比例73.4％、25.6％和1％均匀混合。

5.根据权利要求2所述的一种基于SU8光栅的可调谐液晶激光器的制作方法，其特征在于：步骤5所述泵浦源为固体Nd：YAG倍频532mm波长的脉冲激光器作为泵浦光源，脉冲频率为3Hz，脉宽20ns。