[发明专利]切削装置和电极端子组件

说明书

提供切削装置和电极端子组件，实现电极端子更换时的作业性的提高。具有对切削刀具相对于卡盘工作台的切入方向的原点位置进行检测的原点检测机构(70)，原点检测机构具有：电极端子(74)，其与转子(262)的端面(262A)对置而插入至主轴壳体的盖(71)中，与端面(262A)抵接；按压弹簧(75)，其将电极端子(74)按压至端面(262A)；以及导电性弯折板(76)，其具有将按压弹簧(75)卡定的卡定部(76A)和插入部(76B)，在盖(71)上形成有供电极端子(74)隔着按压弹簧(75)而插入的插入孔(72)，并且形成有供导电性弯折板(76)的插入部(76B)插入的卡定槽(73)，在卡定槽(73)形成有对所插入的导电性弯折板(76)进行保持的止动部(78)。

技术领域

本发明涉及具有原点检测机构的切削装置和设置于原点检测机构的电极端子组件，该原点检测机构对切削刀具相对于保持工作台的切入方向的原点位置进行检测。

背景技术

半导体晶片或玻璃基板等被加工物例如通过具有旋转的圆环状的切削刀具的切削装置沿着间隔道进行切削而分割成多个芯片。该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的切削刀具；以及原点检测机构，其用于对作为设定切削刀具的切入量的基准的切削刀具的原点位置进行检测(例如，参照专利文献1)。这种原点检测机构构成为具有：主轴，其安装有切削刀具；主轴壳体，其将该主轴支承为能够旋转；支托，其与主轴的端面对置而安装在主轴壳体上；以及作为电极端子的碳刷片，其被收纳在设置于该支托的引导孔中，对主轴的端面进行弹簧施力。

专利文献1：日本实开平7-10552号公报

该碳刷片始终被按压于主轴的端面而接触，碳刷片的磨损剧烈，需要定期的更换。但是，在现有的结构中，碳刷与按压弹簧一起被收纳在形成于支托的引导孔中，该支托以螺钉固定的方式固定于主轴壳体，因此碳刷的更换作业繁杂，迫切希望提高作业性。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供实现提高电极端子更换时的作业性的切削装置和电极端子组件。

为了解决上述课题实现目的，本发明是切削装置，其具有：保持工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其具有对该保持工作台所保持的被加工物进行切削的切削刀具和在一端安装有该切削刀具的主轴；以及原点检测机构，其使该切削刀具与该保持工作台接触而通过电导通对该切削刀具相对于该保持工作台的切入方向的原点位置进行检测，其中，该原点检测机构具有：电极端子，其与该主轴的另一端侧的端面对置地插入至将该主轴支承为能够旋转的壳体中，该电极端子具有与该端面抵接的抵接面；按压弹簧，其由导电性材料制成，将该电极端子按压至该端面；以及导电性弯折板，其具有将该按压弹簧卡定的卡定部，并具有与该卡定部一体地形成并且向该电极端子侧弯折的插入部，该壳体中形成有供该电极端子隔着该按压弹簧而插入的插入孔，并且形成有供该导电性弯折板的该插入部插入的接纳部，在该接纳部中形成有对所插入的该导电性弯折板进行保持的止动部，由此，通过将该导电性弯折板插入至该壳体而在使该电极端子与该端面抵接的状态下进行固定。

根据该结构，能够从壳体的外侧借助导电性弯折板相对于壳体进行电极端子和按压弹簧的插拔。因此，无需像以往那样连同对电极端子进行保持的支托一起从壳体取下的作业，能够容易地进行电极端子的更换，能够实现更换时的作业性的提高。

另外，也可以是，在导电性弯折板形成有供作业者把持的把持部。根据该结构，能够对把持部进行把持而将导电性弯折板、电极端子和按压弹簧从壳体拔出，从而能够容易进行电极端子的取下。

另外，也可以是，止动部由导电性部件构成，该导电性弯折板的该插入部插入至该接纳部而构成基于该原点检测机构的原点检测电路。根据该结构，止动部将导电性弯折板的插入部保持于接纳部，并且作为原点检测电路的一部分发挥功能，因此能够实现装置结构的简化。