[发明专利]断裂装置

说明书

技术问题：提供一种能够抑制输送过程中的基板表面的损伤、微小异物的附着并获得高品质产品的断裂装置。解决手段：采用如下结构，即具备：气浮单元，其在基板(W)输送时以及划线时从浮台(1、11)表面喷出空气而使基板(W)浮起；夹具(2、12)，其把持浮起的基板(W)的端部并沿着水平方向移动，且在截断时固定保持基板(W)；以及断裂机构，其将浮起的基板(W)沿着划分线截断。

技术领域

本发明涉及一种将玻璃等脆性材料基板沿着划分线(切槽)截断的断裂装置。尤其是本发明涉及一种在柔性的OLED(Organic Light Emitting Diode)显示器的制造过程中，将在玻璃基板的上表面层叠有作为柔性基材的树脂膜(聚酰亚胺膜(也称为PI膜))的母基板的有机膜形成前的玻璃基板沿着划分线(切槽)截断的断裂装置。

背景技术

在截断玻璃基板等脆性材料基板的加工中，以往是通过将刀轮按压在基板表面来形成划分线，之后沿着划分线从划分线形成面的相反侧的面施加外力，使基板弯曲，从而截断为单位基板(参照专利文献1)。

近年来，由于显示器的高清晰化的需求，需要进一步改善基板的表面品质、端面强度。另外，从扩大显示器的用途的观点来看，也需要柔性的显示器，而且制造了使用柔性基板的OLED。就这样的OLED显示器而言，在制造过程中，在玻璃基板上形成树脂膜(PI膜)，并在其上形成具有电极层、有机EL层的有机膜。电极层、有机EL层等的膜厚较薄，而且组成非常纤细，因此即使是极其微小的异物附着于树脂膜表面，也会导致产生缺陷，导致成品率下降。

为了获得高品质且生产性较高的OLED显示器制造技术，必须避免有机膜形成前的形成有树脂膜(PI膜)的玻璃板上的损伤、粉尘等微小异物的附着。即，玻璃板的损伤会导致强度劣化，并且附着的异物被运至有机膜形成工序会导致作业环境劣化。

而且，若玻璃板背面有损伤或微小异物附着，则在进行有机膜形成后的产品的玻璃基板与树脂膜的分离的Lift-Off工序中，很有可能导致剥离不良，因此不仅是玻璃基板的表面侧(有机膜形成侧)，背面侧也需要极力避免损伤、粉尘的附着。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5210356号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

就一般的断裂装置而言，在使待加工基板向截断位置移动时，是将待加工基板载于传送带、载台的上表面进行输送，因此基板的背面始终与传送带、载台面接触。另外，在划线时，隔着划线在其左右两侧的背面也被传送带、载台保持，因此基板背面还是与传送带、载台接触。在这样的情况下，接触时间越长，另外，接触状态下的移动距离越长，基板背面的小损伤的发生概率就越大，并且传送带/载台上的粉尘等微小异物附着于基板背面的概率就越大，会导致成品率下降，不利于高精度且品质优异的产品的制造。

因此，本发明的目的在于，解决上述的技术问题，提供一种用于获得成品率高且高品质的产品的断裂装置。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提出了如下所述的技术手段。即，本发明的断裂装置，用于将由脆性材料制成的基板截断，其构成为具备：气浮单元，其在基板输送时以及截断时从浮台表面喷出空气而使基板浮起；夹具，其把持浮起的基板的端部并沿着水平方向移动，且在划线时固定保持基板；以及断裂机构，其将浮起的基板沿着划分线截断。

这里，较佳地，所述气浮单元使压力空气从在浮台的表面开口的许多小孔喷出。

另外，较佳地，所述断裂机构由与所述基板的一侧的面接触并转动的截断用辊、以及与该截断用辊相对并承受所述基板的相反侧的面的承受辊形成。

(三)有益效果