[发明专利]互连线结构、显示基板及其制作方法、显示装置在审
申请号: | 201810703265.6 | 申请日: | 2018-06-30 |
公开(公告)号: | CN108899328A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 胡坤;李亚龙;乔贵洲 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L23/532;H01L21/768;B82Y30/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 互连线结构 显示装置 纳米金属线 第二区域 第一区域 显示基板 延展性 导电性能 导电线 耐弯折 弯折的 制作 力学 断裂 应用 | ||
本发明公开了一种互连线结构、显示基板及其制作方法、显示装置。所述互连线结构具有相互连接的第一区域和第二区域,所述第二区域的应力大于所述第一区域的应力,所述第一区域包括导电线,所述第二区域包括纳米金属线,因纳米金属线不仅具有良好的导电性能,而且具有良好的延展性(耐弯折特性),因此,所述互连线结构在被弯折的过程中,纳米金属线不易发生断裂,可以有效提高所述互连线结构的力学可靠性。从而,将包括所述互连线结构的显示基板应用于显示装置中,可以提高显示装置的可靠性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种互连线结构、显示基板及其制作方法、显示装置。
背景技术
柔性显示装置有自身强大的优点,比如携带方便、可弯曲、可随意变形等,目前柔性显示技术越来越成熟,柔性屏幕也会逐渐走入人们的生活,而柔性移动设备也会慢慢成为日常生活的主要工具,业界预测在不久的将来柔性移动设备会逐渐取代传统的移动设备(手机、平板等)。
在柔性显示装置中,互连线结构是柔性显示装置中的核心机构之一,如薄膜晶体管阵列电极的互连线结构、有机发光层电极的互连线结构以及触控面板中触控电极的互连线结构,所述互连线结构用于现实电极间的电连通或电引出。然而,柔性显示装置的互连线结构容易断裂,导致柔性显示装置的失效。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种互连线结构、显示基板及其制作方法、显示装置,以提高互连线结构的力学可靠性,从而提高显示装置的可靠性。
为解决上述技术问题,本发明提供的互连线结构包括相互连接的第一区域和第二区域,所述第二区域的应力大于所述第一区域的应力,所述第一区域包括导电线,所述第二区域包括纳米金属线。
进一步地,在所述的互连线结构中,所述互连线结构为折线结构,所述第二区域位于折线的拐点处。
进一步地,在所述的互连线结构中,所述第二区域的应力为所述第一区域的应力的1.2倍以上。
可选地,在所述的互连线结构中,所述第二区域的图案为四边形、五边形、六边形、圆弧形、V字形中的一种或多种,其中,所述V字形的夹角为直角、钝角或者锐角。
可选地,在所述的互连线结构中,所述导电线的材料包括金线、银线或铜线,所述纳米金属线的材料包括纳米银线。
根据本发明的另一面,本发明还提供了一种显示基板,包括基底以及设置在所述基底上的上述互连线结构。
根据本发明的又一面,本发明还提供了一种包括上述显示基板的显示装置。
根据本发明的再一面,本发明还提供了一种显示基板的制作方法,包括:
提供一基底;
在所述基底上形成互连线结构,所述互连线结构具有相互连接的第一区域和第二区域,所述第二区域的应力大于所述第一区域的应力;其中,
在所述基底上导电线图案,所述导电线图案构成所述互连线结构的第一区域;以及,
在所述基底上形成纳米金属线图案,所述纳米金属线图案与所述导电线图案相连通,所述纳米金属线图案构成所述互连线结构的第二区域。
进一步地,在所述基底上形成导电线图案的步骤包括:在所述基底上形成一金属薄膜;刻蚀所述金属薄膜以形成所述导电线图案。
进一步地,在所述基底上形成纳米金属线图案的步骤包括:涂布一纳米金属层,所述纳米金属层覆盖所述导电线图案和暴露的所述基底;去除部分纳米金属层以形成所述纳米金属线图案。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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