[发明专利]封装集成无源件在审

专利信息
申请号: 201810697190.5 申请日: 2018-06-29
公开(公告)号: CN109216544A 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: A.阿莱克索夫;K.达马维卡塔;R.A.梅;S.甘 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L49/02 分类号: H01L49/02;H01L25/16
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 王健;郑冀之
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 无源 衬底 电学组件 导体 封装集成 一体形成 管芯 电容器 半导体器件 电学连通 电阻器 耦合到 配置 申请
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,包括:

衬底的多个层;

耦合到衬底的所述多个层中的至少一个的管芯;

被一体地形成在衬底的层内的无源电学组件;以及

配置成允许无源电学组件与管芯之间的电学连通的一个或多个导体,其中所述一个或多个导体被一体地形成在衬底的所述多个层内。

2.权利要求1所述的半导体封装,其中无源组件与外部设备电学连通。

3.权利要求1所述的半导体封装,其中无源电学组件被包括在多个无源电学组件中。

4.权利要求1所述的半导体封装,其中无源组件是电阻器。

5.权利要求4所述的半导体封装,其中电阻器包括:

电阻式组件,所述电阻式组件由衬底的层的部分形成;以及

第一电极和第二电极,所述第一电极和第二电极耦合到电阻式组件,使得第一和第二电极通过电阻式组件电学连通。

6.权利要求4所述的半导体封装,其中电阻式组件包括包含以下的材料:氮化钛、钛和氮以一种形式的组合、镍、磷化镍、钽和铋。

7.权利要求1所述的半导体封装,其中无源组件是电容器。

8.权利要求7所述的半导体封装,其中电容器包括:

包含衬底的第一封装层;

第二封装层,所述第二封装层包括:

第一电极,所述第一电极耦合到第一封装层;

衬底的第二层,衬底的第二层大体围绕第一电极;以及

第三封装层,所述第三封装层包括:

介电组件,所述介电组件耦合到第一电极;

第二电极,所述第二电极耦合到介电组件;

衬底的第三层,衬底的第三层耦合到第二电极。

9.权利要求8所述的半导体封装,其中介电组件具有第一介电常数,并且还包括具有第二介电常数的第二介电组件。

10.权利要求11所述的半导体封装,其中第一介电常数不同于第二介电常数。

11.权利要求12所述的半导体封装,其中第一介电组件和第二介电组件位于衬底的相同层上。

12.权利要求8所述的半导体封装,其中第二电极大体围绕介电组件。

13.权利要求1所述的半导体封装,其中半导体封装是第一半导体封装,并且第一半导体封装耦合到第二半导体封装。

14.一种半导体器件,包括:

衬底的多个层;

管芯,所述管芯耦合到衬底的所述多个层中的至少一个;

电阻器,所述电阻器被一体地形成在衬底的层内,其中电阻器包括:

电阻器组件,所述电阻式组件由衬底的层的部分形成,以及

第一电极和第二电极,所述第一电极和第二电极耦合到电阻式组件,使得第一和第二电极通过电阻式组件电学连通;以及

一个或多个导体,所述一个或多个导体配置成建立电阻器与管芯之间的电学连通路径,其中所述一个或多个导体被一体地形成在衬底的所述多个层内。

15.权利要求14所述的半导体器件,其中电阻式组件的长度是电阻式组件的宽度的至少1.5倍。

16.权利要求14所述的半导体器件,其中电阻式组件包括包含以下的材料:氮化钛、磷化镍、铋。

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