[发明专利]一种ITO镀膜靶材及其制备方法

说明书

本发明公开一种ITO镀膜靶材的制备方法，涉及镀膜技术领域，包括铟锡氧化物制备、混合氧化物配方、添加粘合剂和烧结等工艺步骤。本发明，工艺设计科学、合理，靶材靶材密度合适，均匀性好，制备方便，生产效率高，节约成本，作用安全、可靠，用于镜片镀膜，不开裂，性能稳定，附着性好，形成的镀膜具有很好的均匀性、导电性和透明性，可以有效切断对人体有害的电子辐射、紫外线及蓝光，确保产品质量。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及ITO镀膜靶材及其制备方法。

技术背景

在近视、远视、老花镜等镜片上常使用光学镀膜。现有光学镀膜技术的金属薄膜具有某种程度的透光性，但对光的吸收较大，硬度不高且稳定性差。随着社会发展和科学技术的突飞猛进，人们对功能材料的需求日益迫切，积极寻求一种透明性和导电性能更好、可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及蓝光的高质量镀膜材料，并能尽量降低生产成本。近年来虽然有关ITO（Indium Tin Oxides）镀膜靶材——氧化铟锡纳米粉体制备方法报道较多,但能够实现批量生产的方法则很少 。有的方法颇有特色 ,但是生产设备要求极高 ,不易于实现工业化生产。有的简单实用 ,但是工艺流程长 ,生产效率低且杂质不易除去。有些方法制备的氧化铟锡混合的均匀度不良，镀膜质量欠佳。还有些方法制备的ITO镀膜靶材镀膜过程中极易产生开裂。因此寻找工艺条件容易控制 、低成本 、高产率 、产品性能稳定的理想制备工艺成为研究主要方向。

发明内容

为了充分满足上述镜片光学镀膜的要求，本发明目的在于，公开一种ITO镀膜靶材及其制备方法，采用高纯度纳米级氧化铟和其他氧化物配方，加以解决。

本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种ITO镀膜靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

A.铟锡氧化物制备

（1）选用纯铟，以及氯化亚锡，其中，铟、锡二者摩尔比为10:1～10:1.2，加入优质纯盐酸进行溶解，通过搅拌，使它们溶解趋于饱和，获得混合均匀的氯化亚铟以及氯化亚锡混合酸性溶液；

（2）在上述步骤获得的混合酸性溶液中加入氢氧化钠，至溶液接近中性，获得氧化铟·氧化锡·氯化钠混合溶液，过滤氯化钠，获得氧化铟和氧化锡混合液；

（3）将氧化铟和氧化锡混合液滤去水分，获得铟锡氧化物潮湿粉体；

B.混合氧化物配置

混合氧化物潮湿粉体其重量份数配比为：铟锡氧化物潮湿粉体100份，氧化锌粉体0.5份～2份，混合均匀，获得混合氧化物潮湿粉体；

C.添加粘合剂

在混合氧化物潮湿粉体中，加入粘合剂，其重量份数配比为：混合氧化物潮湿粉体100份，粘合剂0.5份～5份，调和均匀，获得湿润混合物；

D.烘燥

将前道获得的湿润混合物在烘箱中烘燥，烘干水分，烘燥温度90℃～110℃温度，获得干燥混合物；

E.压制

将前道获得的干燥混合物置于合金模具中，压制成形，获得烧结前驱物；

F.烧结

把以上获得烧结前驱物，装入容器，置于真空烧结炉中烧结，所述真空烧结炉真空度为0.01帕～0.0001帕，烧结温度为1200℃～1300℃，保温2小时～6小时，然后自然冷却降温至室温，获得ITO镀膜靶材成品。

所述纯铟，纯度为4N以上。

所述纯铟，为铟粒或铟粒丝。

所述中性， ph值为6～7。

所述粘合剂，为聚乙烯醇或羧甲基纤维素。