[发明专利]水汽捕捉装置

说明书

本发明公开了一种水汽捕捉装置，包括用于捕捉水汽的冷凝腔；所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。相比现有的分子筛装置，本发明的冷凝捕捉结构提供了更多的水汽接触面积，无需花费大量成本建造大容积的分子筛装置；而且本发明采用冷凝原理对水汽进行捕捉，使得捕捉后的水汽经冷凝作用转变为固体物(如冰晶)，因而再生过程仅需升温操作即可实现对冷凝物的融化，无需耗费电子气体，也不会引入或者二次产生有毒副产物。

技术领域

本发明涉及工业气体处理工艺，尤其涉及一种水汽捕捉装置。

背景技术

在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业快速发展的今天，砷烷等电子气体的使用范围越来越广泛，在工艺流程中，对于电子气体的提纯工艺要求较高，不仅要求快速、高效地去除杂质，而且不能引入新的杂质，并且所产生的污染物要少，提纯设备还要求能在线再生等。

目前对于砷烷等电子气体中水汽的去除一般使用分子筛装置，但是分子筛的微孔内表面积吸附完毕水汽后即失去吸附作用，单位体积分子筛吸附水汽的能力有限，需要建造大容积的分子筛才能满足连续生产的需要；而且分子筛的再生需要大量的干氮气进行再生置换水汽，并且再生过程会产生较多含毒尾气，因而还需要单独配置尾气处理设备；另外，再生完毕后需要用砷烷等电子气体再次对分子筛内的氮气进行置换，而置换过程又会产生大量的有毒尾气，并且还会浪费部分电子气体。

发明内容

本发明的目的是提供一种便于再生的水汽捕捉装置，用以替换现有的分子筛提纯方案，从而解决分子筛提纯过程中的诸多弊端。

本发明采用的技术方案如下：

一种水汽捕捉装置，包括：

用于捕捉水汽的冷凝腔；

所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；

所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；

所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。

可选地，不同组的所述水汽捕捉片在所述柱状冷凝棒上具有不同的安装位置；和/或

不同组的所述水汽捕捉片的外周长不同。

可选地，所述柱状冷凝棒包括至少一个设置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多个设置在靠近所述冷凝腔的内壁的第二冷凝棒以及多个设置在所述第一冷凝棒和所述第二冷凝棒之间的第三冷凝棒；

所述第二冷凝棒和所述第三冷凝棒分别以所述第一冷凝棒为中心呈环状分布。

可选地，所述水汽捕捉片包括多个连接在所述第一冷凝棒上的第一捕捉片、多个连接在所述第二冷凝棒的第二捕捉片以及多个连接在所述第三冷凝棒的第三捕捉片。

可选地，所述第一捕捉片设有用于与所述第一冷凝棒配合的第一过孔；

所述第二捕捉片设有用于与所述第二冷凝棒配合的第二过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒和所述第三冷凝棒的第一通孔；

所述第三捕捉片设有用于与所述第三冷凝棒配合的第三过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒的第二通孔。

可选地，所述水汽捕捉装置还包括：再生设备，所述再生设备用于融化并排放所述水汽捕捉片上的冷凝物，以恢复所述冷凝腔的水汽捕捉功能；

所述再生设备包括：加热装置、排放装置以及分别安装在所述气体入口和所述气体出口的阀门；

所述阀门用于在进行再生作业时封闭所述气体入口和所述气体出口；