[发明专利]磁尺及磁性编码器

说明书

本发明提供一种能够抑制从底板侧对形成于磁性涂膜的永磁体层的磁影响的磁尺及磁性编码器。用于磁性编码器的磁尺(9)具有底板(95)和形成于底板(95)的一面(950)侧的磁性涂膜(96)，磁性涂膜(96)的至少与底板(95)相反一侧的层形成为沿着底板(95)的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层(97)。相对于永磁体层(97)在底板(95)所在的一侧设有对从底板(95)侧向永磁体层(97)侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层(90)。例如，底板(95)是厚度为300μm以上的非磁性基板，缓冲层(90)由底板(95)构成。

技术领域

本发明涉及一种磁尺、及通过磁传感器装置检测来自磁尺的磁场的磁性编码器。

背景技术

磁性编码器具有具备永磁体的磁尺和具备磁阻元件的磁传感器装置，基于磁尺和磁传感器装置相对移动时的磁传感器装置的检测结果，检测磁尺和磁传感器装置的相对位置等。磁尺例如具有由铝或铝合金构成的底板和形成于底板的一面的磁性涂膜，由磁性涂膜构成永磁体(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016－38294号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

制造上述专利文献1中记载的磁尺时，在以由支承部件从另一面侧支承底板的状态下对磁性涂膜进行磁化时，如果底板很薄，则有时由于支承部件的材质，不能将磁性涂膜适当地磁化。具体而言，在支承部件由磁性材料构成时，有时受来自支承部件的磁影响而不能将磁性涂膜适当地磁化。另外，在将使用了磁尺的磁性编码器用于各种装置时，磁尺的底板被固定在装置上，但在将底板固定于由磁性材料构成的被固定部件上时，如果底板很薄，则受磁尺的永磁体和被固定部件的磁相互作用的影响，存在向磁传感器元件的漏磁通减少等问题。

鉴于以上问题点，本发明提供一种能够抑制来自底板侧的对形成于磁性涂膜的永磁体层的磁影响的磁尺及磁性编码器。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述课题，本发明提供一种磁尺，其特征在于，具有：底板；磁性涂膜，所述磁性涂膜形成于所述底板的一面侧，且在树脂层中分散有磁粉，所述磁性涂膜的至少与所述底板相反一侧的层形成为沿着所述底板的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层，相对于所述永磁体层在所述底板所在的一侧，设有对从所述底板侧向所述永磁体层侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层。在本发明中，所谓“低磁性材料”是具有位于非磁性材料和磁性材料的中间的特性的材料，例如是指树脂层中分散有磁粉的磁性涂膜、轧制时带上磁性的奥氏体类不锈钢等。

在应用本发明的磁尺中，因为相对于永磁体层在底板所在的基底侧设有厚度300μm以上的厚的缓冲层，所以在磁化磁性涂膜时、或者将磁尺搭载于各种装置时，能够利用缓冲层抑制来自底板侧的对形成于磁性涂膜上的永磁体层的磁影响。例如，在利用支承部件从另一面侧支承底板的状态下对磁性涂膜进行磁化时，即使在支承部件由磁性材料构成的情况下，也能够利用缓冲层抑制来自支承部件的磁影响，所以能够将磁性涂膜适当地磁化。另外，在将使用了磁尺的磁性编码器用于各种装置时，即使将磁尺的底板固定于由磁性材料构成的被固定部件上的情况下，也能够利用缓冲层抑制磁尺的永磁体层和被固定部件的磁相互作用的影响，因此，能够提高检测精度。

在本发明中，可以采用如下方式，所述底板是非磁性基板或低磁性基板，所述缓冲层的厚度方向的至少一部分由所述底板构成。例如，可以采用如下方式，所述底板是厚度为300μm以上的非磁性基板或低磁性基板，由所述底板构成所述缓冲层。另外，也可以采用如下方式，所述磁性涂膜以在所述底板侧留有未磁化层的方式形成所述永磁体层，所述缓冲层包含所述未磁化层及所述底板。另外，也可以采用如下方式，在所述底板和所述磁性涂膜之间设有非磁性或低磁性的基底层，所述缓冲层包含所述基底层及所述底板。