[发明专利]光检测装置及摄像装置

说明书

提供能提高检测光入射的定时中的时间分辨率的光检测装置及摄像装置。光检测装置具备：光电转换部；第一电荷转送路径，第一端与光电转换部连接，在从第一端向第二端的第一方向上转送来自光电转换部的电荷；第二电荷转送路径，从第一电荷转送路径的第一位置分支；第三电荷转送路径，从第一电荷转送路径的在第一方向上与第一位置相比离光电转换部更远的第二位置分支；第一电荷积蓄部；第二电荷积蓄部；第一栅极电极，对第一电荷转送路径中的电荷的转送及阻断进行切换；以及至少一个第二栅极电极，对第二及第三电荷转送路径中的电荷的转送及阻断进行切换，在平面视时，第三电荷转送路径的宽度比第二电荷转送路径的宽度更宽。

技术领域

本公开涉及对光进行检测的光检测装置。

背景技术

已知检测光入射的定时的光检测装置(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2017-17583号公报

发明内容

发明要解决的课题

根据上述的光检测装置(例如为摄像元件)，能够以一定程度的精度来检测光入射的定时。但是，在检测光入射的定时中，期望进一步的时间分辨率的提高。

因此，本公开的目的在于，提供能提高检测光入射的定时中的时间分辨率的光检测装置及摄像装置。

用于解决课题的手段

本公开的一方式所涉及的光检测装置具备：光电转换部，生成电荷；第一电荷转送路径，具有第一端和第二端，所述第一端与所述光电转换部连接，所述第一电荷转送路径在从所述第一端向所述第二端的第一方向上转送来自所述光电转换部的电荷；第二电荷转送路径，从所述第一电荷转送路径的第一位置分支；第三电荷转送路径，从所述第一电荷转送路径的在所述第一方向上与所述第一位置相比离所述光电转换部更远的第二位置分支；第一电荷积蓄部，积蓄从所述第一电荷转送路径经由所述第二电荷转送路径转送的电荷；第二电荷积蓄部，积蓄从所述第一电荷转送路径经由所述第三电荷转送路径转送的电荷；第一栅极电极，对所述第一电荷转送路径中的电荷的转送及阻断进行切换；以及至少一个第二栅极电极，对所述第二电荷转送路径中的电荷的转送及阻断进行切换，以及对所述第三电荷转送路径中的电荷的转送及阻断进行切换，在平面视时，所述第三电荷转送路径的宽度比所述第二电荷转送路径的宽度更宽。

本公开的一方式所涉及的摄像装置具备阵列状地配置由上述光检测装置构成的多个像素的像素阵列。

发明效果

根据上述结构的光检测装置及摄像装置，能提高检测光入射的定时中的时间分辨率。

附图说明

图1是实施方式一所涉及的光检测装置的平面图。

图2是实施方式一所涉及的光检测装置的X1-X2线上的截面图。

图3是实施方式一所涉及的光检测装置的Y1-Y2线上的截面图。

图4是在实施方式一所涉及的光检测装置中形成的电荷转送路径的示意图。

图5是表示第一电荷转送路径转送电荷的情形的示意图。

图6是表示第二电荷转送路径转送电荷的情形的示意图。

图7是表示第六电荷转送路径转送电荷的情形的示意图。

图8是表示各晶体管TG1～TG5的每单位栅极宽度的电流-电压特性的特性图。

图9是表示实施方式一所涉及的摄像装置的结构的框图。

图10是表示在第一电荷转送路径中正行进的电荷群的分布的示意图。