[发明专利]一种X射线成像装置

说明书

公开了一种X射线成像装置，该装置可以包括：转台，其设置在底座上并且在被驱动时围绕竖直方向上的纵向轴线旋转；探测器，其经由穿过转台的中孔的第一支撑结构连接到底座；样品台，其经由第二支撑结构连接到转台；以及射线源，其设置于经由第三支撑结构连接到底座。该装置能够同时支持包括计算机层析成像和计算机断层成像的多种模式。

技术领域

本公开总体上涉及X射线成像领域，并且具体地涉及一种X射线成像装置，其能够同时支持包括计算机层析成像和计算机断层成像的多种模式。

背景技术

X射线成像已经被广泛地应用于医学诊断、工业无损检测、安检、科研等领域。医学诊断用的计算机断层成像(CT)装置检测的对象通常是人或动物，装置的结构相对固定。相比于医学检测，工业CT检测的对象不固定，用于工业无损检测的CT成像设备的结构根据不同的检测需求而不同。

专用于诸如芯片这样的板状物体的X射线三维层析成像技术可以在不破坏板状物体的情况下对板状物体的内部结构进行三维成像。这样的计算机层析成像(CL)技术能够有效地解决在对板状物体应用计算机断层成像方法的情况下由于入射的X射线在垂直样品表面和平行样品表面两个方向的光程差异过大而导致的问题。

为了兼容传统的CT模式并充分地利用现有的射线源和探测器，对于采用CL技术的装置，往往需要添加额外的横向转台，并且在CL和CT两种模式之间切换的情况下需要安装或拆除转台。

发明内容

本公开的实施例提供了一种X射线成像装置，该装置可以包括：转台，其设置在底座上并且在被驱动时围绕竖直方向上的纵向轴线旋转；探测器，其经由穿过转台的中孔的第一支撑结构连接到底座；样品台，其经由第二支撑结构连接到转台；以及射线源，其设置于经由第三支撑结构连接到底座。

根据本公开的实施例的X射线成像装置能够针对不同的样品采用不同的成像模式，例如多角度投影成像、CT成像、CL成像等。每种成像模式均能够自由地调节放大比、成像视野等，从而能够实现不同的空间分辨率。不同的成像模式可以共用相同的样品台支撑结构，从而能够有效地节约成本，并有利于不同成像模式之间的快速切换。

另外，在根据本公开的实施例的X射线成像装置中，在CL扫描的过程中，仅转台旋转，运动的自由度低，从而能够控制和实现高精度的扫描和检测；而且，还可以通过调节样品的位置对样品的任意感兴趣区域进行成像，因此具有很高的灵活性。

附图说明

图1示出根据本公开的实施例的X射线成像装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图来描述根据本公开的实施例的方法和系统。应当理解，所描述的实施例仅仅是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。

图1示出根据本公开的实施例的X射线成像装置的结构示意图。如图1所示，根据本公开的实施例的X射线成像装置可以包括射线源2、探测器4、转台6和样品台7。另外，该X射线成像装置还可以包括控制单元10。

射线源2可以是任何适当的能够产生例如X射线的装置。

在一个实施例中，射线源2可以通过相应的控制线或连接线与控制单元10相连，并且可以通过相应的控制线或连接线接收来自控制单元10的控制指令和参数以便产生并发射符合期望要求(例如，具有期望的强度和/或角度)的X射线。在另外的实施例中，射线源2也可以通过无线的方式与控制单元10通信。

射线源2可以通过相应的支撑结构3与装置的底座1相连。根据不同的实施例，射线源2的空间位置可以是固定的，也可以在三维空间中运动。

相应地，用于连接射线源2和底座1的支撑结构3可以具有固定的形状或结构，也可以具有诸如机械臂这样的可变形或可调节的结构。