[发明专利]柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置

权利要求书

1.一种柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于：包括有夹持机构、梯度载荷加载机构以及精密检测单元；

夹持机构由框架、左侧压片、右侧压片、连杆和销轴组成，框架为中空结构，试件两侧分别连接左侧压片和右侧压片，所述左侧压片固定连接在框架上，所述右侧压片固定在连杆上，连杆底端铰接在框架上、头端铰接梯度载荷加载机构的连接杆；

梯度载荷加载机构包括有连接杆、滑块、丝杆和精密直流伺服电机，连接杆两端分别铰接连杆和滑块，滑块与丝杆螺纹传动，丝杆由配置有减速器的精密直流伺服电机驱动，精密直流伺服电机安装在框架上；框架、连杆、连接杆和滑块构成曲柄滑块机构；

精密检测单元包括有光电编码器、位移传感器、采集卡及PC机，光电编码器与精密直流伺服电机同轴相连，位移传感器采集滑块位移量；光电编码器、位移传感器经过采集卡采集数据传输给PC机处理，PC机与显微镜主机通讯。

2.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于：所述位移传感器为光栅尺，光栅尺读数头安装在丝杆外侧的框架上，滑块上连接指针，光栅尺主尺安装在指针上，采集指针移动位移信息。

3.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于：所述左侧压片和右侧压片与薄膜试件接触的表面均滚有花纹。

4.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜梯度变形的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于：所述框架设有可安装至电子显微镜腔体内的螺纹孔。