[发明专利]一种增强非对称传输的纳米薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种增强非对称传输的纳米薄膜，由多个相同的纳米单元按矩形周期阵列排布构成，其特征在于：

所述纳米单元为方形体；所述纳米单元上设有一通孔；所述通孔由一矩形孔和四个相同的半圆孔组成；所述四个半圆孔分布于矩形孔的外侧；所述每个半圆孔直径d分别与其所对应的矩形孔边重合；

其中，所述半圆孔直径d不大于所述矩形孔的短边长度w；所述矩形孔的长边与X方向之间具有一夹角α；所述夹角α为0°～180°；所述纳米单元由贵金属材料制成。

2.如权利要求1所述增强非对称传输的纳米薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一、甩胶后烘:用甩胶机在基底上甩电子束负胶SU-8后，放置在热板上烘烤；

步骤二、曝光:对所述步骤一烘烤后的基底，用图形发生器设计如权利要求1所述增强非对称传输的纳米薄膜的结构图形，并用电子显微镜曝光图形，得到曝光后的基底；

步骤三、显定影后烘:室温条件下，将所述步骤二曝光后的基底先放入显影液中浸泡显影，再放入定影液中浸泡，最后放置在热板上烘烤；

步骤四、真空镀膜:将所述步骤三烘烤后的基底放入电子束真空蒸发镀膜机中，先抽真空，再依次蒸镀钛和贵金属，最后冷却10min～20min后取出；

步骤五、溶胶后吹干:先将所述步骤四镀膜后的基底置于去胶液中，直至电子束负胶SU-8完全溶解，最后进行吹干，得到平面纳米薄膜。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤一之前还包括基底清洗步骤，所述基底清洗步骤为：将基底放入洗涤液中清洗，再依次用去离子水、丙酮、酒精、去离子水超声清洗，最后吹干。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤四中蒸镀钛的厚度为8～15nm，蒸镀贵金属的厚度为70～90nm。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述步骤一中甩电子束负胶SU-8的厚度为180～220nm。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述基底为ITO玻璃，所述ITO玻璃的透射率大于83％。

7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述吹干步骤采用的是氮气吹干或洗耳球吹干。