[发明专利]搬运装置及层叠体的制造方法

说明书

本发明提供能容易且高精度地进行单张片状构件的位置对准的搬运装置及层叠体的制造方法。搬运装置包括：载置单张片状构件的第一构件；载置单张片状构件并进行位置调整的调整工作台；用于载置并搬运单张片状构件的第一带状构件；对载置于第一构件的单张片状构件进行吸引并将其向调整工作台载置的第一移载机，第一移载机能在利用吸引力保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件；对载置于调整工作台的单张片状构件的位置信息进行确认的位置确认装置；基于单张片状构件的位置数据来对其进行位置调整的控制部；使载置于调整工作台并被进行了位置调整的单张片状构件向第一带状构件上移动而载置于第一带状构件的第二移载机。

技术领域

本发明涉及用于搬运单张片状构件的搬运装置及层叠体的制造方法。

背景技术

单张片状构件在吸附构件、印制布线基板及光学构件等各种领域中使用。例如，对于印制布线基板及光学构件等用于精密设备的单张片状构件，在单张片状构件的层叠、贴合时，需要进行位置对准。

另外，近年来，多使用薄型的单张片状构件，薄型的单张片状构件尤其容易产生褶皱、卷曲。当在单张片状构件产生褶皱、卷曲等时，不仅难以提高位置对准的精度，而且作业效率变差，有可能对产品的成品率产生不良影响。

例如，在专利文献1(日本特开2012-242750号公报)中公开了一种膜贴附装置，其能够将光学膜等薄的片状的构件以不存在气泡及异物的卷入且不产生挠曲及褶皱的方式贴附在基板上。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-242750号公报

专利文献1所公开的膜贴附装置例如通过将膜的保持构件彼此分离来使膜产生张力。另外，专利文献1公开了使用例如静电吸盘、真空吸附力来作为保持构件这样的内容。

然而，静电吸盘存在如下情况：若片状构件不平坦，则不能稳定地保持被吸附物。例如，存在不能稳定地保持产生了褶皱、挠曲的片状构件的情况，静电吸盘有时不适合于容易产生褶皱的薄型的片状构件等。

另外，当使用真空吸附力时，需要真空装置等，装置变得复杂。而且，也存在无法到片状构件的端部为止地得到充分的吸附力而容易产生气泡的情况。而且，存在对片状构件的吸附力变强的趋势，有时不适合于向薄型的片状构件等使用。

在此，对于印制布线基板及光学构件等用于精密设备的单张片状构件，如上述那样，在单张片状构件的层叠及贴合时需要进行位置对准，要求提高位置对准的精度且更高效地进行位置对准。

而且，如上述那样，近年来，单张片状构件的厚度变薄。例如，在光学层叠体所使用的单张片状构件中，存在厚度为50～300μm的单张片状构件，这会导致如下情况：容易产生卷曲及褶皱，无法容易地进行单张片状构件的位置对准，从而不能实现单张片状构件的角度、位置对准的精度。

发明内容

因此，本发明提供一种搬运装置，其能够将单张片状构件以平坦的状态搬运，另外，能够抑制向单张片状构件产生褶皱、卷曲，能够使单张片状构件伸展，能够使有可能存在于单张片状构件的褶皱伸展，能够容易地进行单张片状构件的位置对准，而且能够高精度地进行位置对准。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运单张片状构件的工序的层叠体的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明包括以下内容。

[1]一种搬运装置，其用于搬运单张片状构件，

所述搬运装置的特征在于，包括：

第一构件，其载置单张片状构件；

调整工作台，其用于载置单张片状构件并对单张片状构件进行位置调整；